Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN #9092857 à vendre en France
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ID: 9092857
Taille de la plaquette: 8"
Furnace, 8"
Process capability: Pyro
Zones: 5
Process gases: N2, H2, O2, DCE
Controller model: TS4000
Accessories: Atmospheric system, loadsize, 100, VMU heater
CE mark: Yes.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN est un four de diffusion sophistiqué et un ensemble d'accessoires utilisés pour le traitement des semi-conducteurs. Il dispose de contrôles de température multi-zones sophistiqués avec des options de cyclage thermique, permettant des paramètres de processus de précision pour un rendement ultra-élevé et une production de qualité supérieure. La précision créée par TEL Alpha 81-ZAN permet de réaliser avec une efficacité constante des procédés tels que le transfert de couches, les procédés d'oxydation à haute température, le traitement des nitrures et les procédés de dépôt en phase vapeur. TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN comprend un four de diffusion sous vide multi-chambres de type directionnel et un équipement de composants matériels et logiciels qui fournissent un ensemble complet d'outils pour préparer et contrôler les différents processus de diffusion. La chambre de procédé est construite en acier inoxydable de haute qualité et comprend un système de bobine chauffante avec deux zones de température indépendantes qui permet des vitesses de diffusion différentes. Un régulateur de température avancé basé sur kelvin permet de réguler les paramètres du processus pour plus de précision et de répétabilité. La machine comprend également un contrôleur automatique d'outils (ASC) qui permet une surveillance continue des niveaux de puissance et des réglages de régulation de la température. L'ASC intègre également la capacité de diagnostic à distance RS485 qui permet à l'utilisateur d'accéder aux journaux de données historiques, ainsi que d'effectuer l'optimisation des processus et le dépannage. L'actif comprend également un dispositif de contrôle des émissions sous pression variable (VPECD) qui permet de créer une pression précise dans la chambre de processus pour un large éventail d'applications. Pour la sécurité et la fiabilité à long terme, Alpha 81-ZAN est équipé d'un moniteur de sécurité de la température et d'un modèle de verrouillage pour contrôler le débit de gaz. Pour réduire les temps d'entretien et d'arrêt, l'équipement est conçu avec un boîtier ergonomique optimisé et un écran LED intégré pour une surveillance et un diagnostic faciles. L'unité est également livrée avec un ensemble d'alimentations de maintien d'échantillons, y compris des tubes à quartz, des capuchons et des refroidisseurs. En résumé, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN est un four à diffusion avancée et des accessoires conçus pour le traitement des semi-conducteurs de premier niveau. Il offre de nombreuses fonctionnalités pour permettre un contrôle de température supérieur et des paramètres de processus précis, ainsi que les outils matériels et logiciels nécessaires pour surveiller et optimiser le système. Avec sa combinaison de caractéristiques de sécurité et de fiabilité, TEL Alpha 81-ZAN est le choix idéal pour une large gamme d'applications exigeantes dans les industries de la technologie et de l'électronique.
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