Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV #9092858 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Le four de diffusion Alpha 81-ZV est un équipement automatisé de diffusion et de traitement thermique des semi-conducteurs qui se spécialise dans la formation des interconnexions en silicium polycristallin utilisées dans les dispositifs CI et autres éléments de circuit. Le four de diffusion a un seul emplacement pratique avec une plage de température de 150 à 2000 degrés Celsius. Il dispose de trois systèmes intégrés - une chambre de recuit haute température et basse pression (HTLA) ; un four à faible contrainte ; et une chambre d'oxydation et de gravure. La chambre HTLA utilise des consignes de profilage de température précises pour produire un recuit uniforme dans les applications de traitement à haute température. La chambre est capable de fournir des valeurs de 52 à 1800 degrés Celsius pour des performances d'anomalie précises. Le four à faible contrainte est également adapté aux applications de traitement à haute température et génère des valeurs de 45 à 1500 degrés Celsius. La chambre d'oxydation et de gravure est programmable pour répondre à des besoins d'oxydation et de gravure difficiles, et fournit une gamme de valeurs de 3 à 950 degrés Celsius. Le four de diffusion TEL Alpha 81-ZV dispose d'un système de contrôle intelligent et flexible, avec la capacité de surveiller, enregistrer, analyser et afficher tous les paramètres en temps réel. L'interface intuitive et conviviale fournit des informations pour les utilisateurs, y compris l'état du cycle de wafer, les recettes de processus, le temps de processus et le temps de cycle. Le four comporte également un égaliseur à quatre zones programmable pour contrôler avec précision les gradients de température transversaux. Il est équipé d'un suscepteur de graphite et dispose également d'une station atmosphérique à base d'hydrocarbures à pression atmosphérique pour une répartition uniforme des gaz. TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV four de diffusion est conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs fiables et sans défaut. Ses caractéristiques maintiennent l'uniformité de température sur toute la surface de la plaquette, et il dispose d'une fonction d'enregistrement et d'analyse des données pour suivre les performances du cycle et l'optimisation des processus. Le four dispose également de capteurs de sécurité intégrés tels que la détection de faible niveau de gaz inerte, la détection de surpression interne, ainsi que la protection contre la décompression de l'oxygène. En outre, l'unité est conforme aux normes SEMI S2 et aux directives EDD et EMI. Dans l'ensemble, le four de diffusion Alpha 81-ZV est une machine intégrée adaptée au traitement à haute température des composants IC qui est conçue pour fournir un recuit uniforme et des performances fiables. Il dispose d'une interface conviviale, d'un outil de contrôle précis, de capteurs de sécurité et est conforme aux normes de l'industrie en matière d'assurance qualité.