Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV #9092859 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Le four à diffusion alpha 81-ZV est un équipement de four vertical à bain unique utilisé pour le traitement intégré des dispositifs. Il dispose d'un processus maximum de 1.100 ° C et est capable de recevoir jusqu'à 6 plaquettes. Il est composé d'un cadre principal, ligne de gaz, protection thermique horizontale supérieure, protection thermique horizontale inférieure, susceptor et wafer bateau. Le cadre principal est en acier inoxydable et est équipé d'un système d'échappement des gaz de purge à l'azote de haute pureté. Il contient également une petite place de bouteille de gaz, fenêtre en verre de quartz et obturateur. La conduite de gaz fournit de l'azote, de l'hydrogène ou de l'halogénure d'hydrogène à la chambre de réaction pour toutes sortes de procédés. Les blindages thermiques horizontaux supérieur et inférieur forment la chambre de réaction et sont réalisés en un matériau céramique alumine de haute qualité pour l'isolation thermique. Le suscepteur est en verre de quartz cylindrique à haute température et a un diamètre de 8 pouces (203 mm). Le bateau wafer est conçu pour contenir jusqu'à six wafers avec 100mm de diamètre. Le bateau est en matériau quartz et muni d'un canal intégré afin que le gaz puisse pénétrer dans la chambre de réaction à travers le bateau. Le four dispose d'un moniteur couleur écran tactile qui permet de surveiller et de contrôler la température et d'autres réglages Il existe également une fonction de programme de recette qui permet de charger facilement les recettes de procédé jusqu'au four. L'unité dispose également d'une machine d'oxydation/nitridation, avec une variété de modes (par exemple oxydation rapide, nitridation rapide, nitridation à basse température, oxydation des fentes, etc.) pour répondre à divers besoins des appareils. Un ventilateur d'échappement est également disponible pour la chambre de processus afin de maintenir une pression stable, assurant une atmosphère sûre et propre. Enfin, diverses caractéristiques de sécurité ont été intégrées dans la conception de TEL Alpha 81-ZV, qui rétablit la sécurité de fonctionnement du four en cas de panne de courant, en plus des signaux d'alarme. En conclusion, le four de diffusion TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV offre une gamme complète de caractéristiques qui en font un outil très efficace et économique pour le traitement intégré des dispositifs. Il offre une combinaison de sécurité et de commodité qui ne se trouve pas dans d'autres systèmes de fours de diffusion.