Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S / 808SC #111907 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S/ 808SC est un four et accessoire de diffusion de pointe conçu pour le dépôt de couches minces sur des plaquettes semi-conductrices. Cet équipement est capable d'assurer une homogénéité supérieure et une température uniforme sur les plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre. TEL Alpha 8S/ 808SC dispose d'un four de diffusion à tube à quartz à immersion à 8 zones avec une température maximale de 1 200 ° C Il est également équipé d'un système de nettoyage avancé conçu pour éliminer tous les types de contaminants des plaquettes avant le dépôt. L'unité utilise une combinaison de techniques de gravure isotrope et anisotrope pour éliminer les particules, les métaux et les contaminants organiques. TOKYO ELECTRON Alpha 8S/ 808SC comprend également une variété d'accessoires, tels que deux robots de chargement pour faciliter le chargement des plaquettes, un port de capteur de température (TSP) pour assurer le contrôle de température de précision, et un contrôleur de débit massique intégré (MFC) pour gérer et contrôler précisément le flux de gaz. La machine comprend également un outil de verrouillage de charge pour prévenir la contamination et conserver les gaz de processus. Alpha 8S/ 808SC est conçu spécifiquement pour les procédés de dépôt de motifs fins et est capable de déposer des films d'épaisseurs allant de 50 nm à 500 nm. Il est conçu pour le dépôt à basse température et basse pression, de sorte qu'il est capable de déposer des films sans compromettre la précision. L'actif est également évalué pour une productivité élevée, ce qui le rend adapté à la production de masse. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S/ 808SC est équipé de fonctions d'avertissement/alerte et d'une interface graphique pour faciliter le fonctionnement efficace et fournir des informations en temps réel sur les paramètres du processus. Cette interface graphique conviviale aide également à maintenir le modèle en fonctionnement sûr et efficace. Dans l'ensemble, TEL Alpha 8S/ 808SC est un four de diffusion avancé et un accessoire conçu pour offrir des performances supérieures et des avantages distincts par rapport à d'autres systèmes. Le four à tube à quartz 8 zones avancé, l'équipement de nettoyage avancé, le port du capteur de température, le régulateur de débit massique, le système de verrouillage de charge et l'interface graphique conviviale garantissent des résultats de dépôt fiables et cohérents et une plus grande efficacité de production.