Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z / 808S #9361886 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z/ 808S est un four de diffusion conçu pour des applications de traitement thermique. C'est un équipement de four de haute performance, de taille moyenne à grande, qui offre une grande capacité de traitement, une excellente uniformité, une excellente répétabilité et un débit élevé. Le système utilise des lampes halogènes comme élément chauffant, ce qui élimine la nécessité d'une unité de pré-entraînement externe. L'unité offre une solution innovante pour les procédés à haute température et de haute qualité et est bien adaptée à une variété de procédés difficiles, tels que l'épitaxie à basse température, le dépôt diélectrique à niveaux intermédiaires (ILD), l'isolation des tranchées peu profondes (STI) et la diffusion des métaux. TEL Alpha 8S-Z/ 808S est livré avec une large gamme d'options, telles que la capacité de programmer des pas à haute température allant jusqu'à 1000 ° C Il a également la capacité de loger jusqu'à quatre plaquettes de quartz. La machine offre une pression de traitement maximale de 5 torr avec sa pompe à turbine à air améliorée. Il utilise une conception de filtrage unique pour maximiser l'efficacité du processus et minimiser l'échappement. Il utilise également une fonction « mur froid », permettant un chauffage thermique uniforme pendant le fonctionnement. TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z/ 808S dispose également d'une interface intuitive de commande à écran tactile, d'un outil d'entraînement positionnel de haute précision et d'une gamme d'autres fonctionnalités pratiques, telles qu'un processus de chargement automatique et une capacité de déchargement automatique. L'actif comprend également plusieurs accessoires, tels qu'un chauffage en céramique planaire, un moniteur à cristaux de quartz en option, et divers autres dispositifs optionnels, permettant une installation et une utilisation faciles. En outre, le modèle offre plusieurs options pour la maintenance et le service, y compris la capacité de maintenance à distance et le remplacement et le réglage de l'appareil pour un délai de traitement plus rapide. Dans l'ensemble, Alpha 8S-Z/ 808S est un four de diffusion et des accessoires avancés et innovants. Il offre d'excellentes performances de processus, un débit élevé et des options polyvalentes pour les applications de traitement à basse et haute température. Il fournit une solution innovante pour les utilisateurs avec des exigences de traitement thermique exigeantes et est bien adapté à une variété de processus thermiques difficiles.
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