Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293636549 à vendre en France

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ID: 293636549
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Vertical LPCVD furnace, 8" CIM: SECS, GEM Fast thermo oxidation process Stocker Wafer transfer system SMIF RCU System 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z est un four de diffusion et des accessoires spécialement conçus pour améliorer les processus dans la recherche et la technologie des semi-conducteurs. Ce four de diffusion est un four de diffusion haute spécification, haute performance avec un budget thermique total allant jusqu'à 200kw et une température maximale de l'équipement de 1300℃. Il présente une homogénéité de processus exceptionnelle, la précision de la température et le contrôle, mettant l'accent sur la praticité. TEL ALPHA 8SZ dispose d'un four à double paroi associé à un suscepteur horizontal pour améliorer l'uniformité de température et le chargement. Il offre également des capacités de co-traitement étendues, capables de jusqu'à quatre processus simultanés qui sont maintenus uniformément et rendus compatibles avec divers systèmes de contrôle de processus. Les alimentations thermiques de ce four de diffusion sont associées à un système de cendrage post-matriciel efficace, avec un four coulissant en option, des protocoles de pré-stérilisation et des options de porte unique. Les formidables capacités de précision et de réfrigération de ce four de diffusion sont fournies par un moteur à entraînement variable multi-étapes. Cette innovation améliore la précision, augmente l'uniformité des processus et assure la stabilité et des vitesses de refroidissement et de chauffage efficaces. En outre, l'élément chauffant est un entrefer à deux bandes qui est doublé de disilicide en molybdène, offrant une plus grande fiabilité et plus rapide ramping. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z est également préparé avec une unité de cartographie intégrée pour un meilleur contrôle des machines et dispose d'un outil de protection contre l'oxydation pour une meilleure protection des guérisseurs et des pièces. La stabilité en température de ce four de diffusion est améliorée par un actif d'étanchéité au vide et une fonction de nettoyage de l'air qui empêche les contaminants atmosphériques d'entrer dans la chambre intérieure. Les systèmes de contrôle robustes TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ aident les utilisateurs à surveiller et enregistrer les données de processus avec une précision exacte. Il dispose d'un écran graphique intuitif et d'un grand disque, permettant une inspection facile, des processus ciblés et uniformes, et des économies d'énergie. En outre, l'installation est conçue pour une installation opérationnelle minimaliste, réduisant à la fois l'espace d'installation et les coûts énergétiques. Dans l'ensemble, ALPHA 8SZ est un four de diffusion polyvalent, offrant une grande précision et une variété de caractéristiques et d'équipements, parfait pour la recherche et la technologie des semi-conducteurs. Ce four de diffusion et ses accessoires associés offrent des procédés simplifiés, une efficacité accrue et une fiabilité avancée.
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