Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293642584 à vendre en France
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ID: 293642584
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Furnace, 8"
Process: Pyro
Wafer: Flat zone type
Gases configuration:
Gas supply:
Gas name / Pressure / Connection method / Unit
PN2 / 0.2 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
O2 / 0.15 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
H2 / 0.15 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
Exhaust:
Type of Exhaust / Flow rate
Scavenger exhaust / 3 m³/min
Process exhaust / 1 m³/min
Gas room exhaust / 1 m³/min
Cooling water:
Gas name / Pressure / Flow rate / Connection method / Used for
Furnace unit / 5 Kg/cm² / 15 / 3/4" SWG / Heater, flange
Power supply:
UPS: AC 120 V, Single Phase, 5 kW (Controller)
Power: 208 V, 3 Phase, 30 kW (Heater chamber)
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z est un four à diffusion et ses accessoires destinés à la recherche et à la production de semi-conducteurs. Il est capable de températures élevées allant jusqu'à 1000 ° C, permettant l'utilisation de substrats dans des procédés avancés tels que le dépôt en phase vapeur. Le 8S-Z comprend une conception de chambre de réaction avancée, permettant un débit de gaz optimal et une uniformité de température. Le 8S-Z est parfait pour la recherche avancée dans une variété de domaines tels que la production de circuits intégrés, la micro-fabrication, MEMS, et plus encore. Il offre des performances supérieures en recuit rapide et en dopage à basse température. Le 8S-Z dispose d'un contrôle à cinq niveaux de la pression de la chambre de réaction, permettant un contrôle précis des paramètres du procédé. Il dispose d'une porte de chargement supérieure qui permet aux utilisateurs de charger facilement les substrats directement dans la chambre principale. TEL ALPHA 8SZ offre un ensemble complet d'accessoires que les utilisateurs peuvent utiliser en fonction de leurs besoins. Il s'agit notamment d'un chargeur de transfert, de navettes et de paniers, et d'un ensemble Cooler Quench doté d'un ventilateur spécial et d'un équipement à air froid. Ceci permet au four de rester frais pendant le traitement, évitant ainsi des dommages au système, au substrat et à l'équipement de l'utilisateur. Le 8S-Z offre également une unité de contrôle informatique de niveau II (CCS). Cette machine permet aux utilisateurs de surveiller et de programmer les paramètres du four avec une grande précision. Il comprend également des dispositifs de sécurité qui obturent automatiquement le four si des conditions anormales sont détectées. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z est un four de diffusion à milieu de gamme avec un excellent contrôle de la température et de l'uniformité, ainsi que des caractéristiques de sécurité fiables. Il dispose d'une variété d'accessoires qui le rendent parfait pour la recherche avancée dans la production de semi-conducteurs, la micro-fabrication, et d'autres domaines.
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