Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293704452 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z est un four de diffusion conçu pour le traitement des plaquettes. Il est conçu pour atteindre les niveaux de productivité les plus élevés, avec un faible impact sur les économies d'énergie tout en assurant un excellent niveau de contrôle des processus et d'uniformité. Le 8S-Z offre une source de chaleur puissante et une atmosphère optimale pour le processus de nettoyage du film d'oxyde d'oxyde, du film d'oxyde mince, de la gravure du silicium polycristallin, du traitement des nitrures et d'autres matériaux connexes. La machine est équipée d'un tuyau en quartz d'une longueur de 1,8 mètres et d'une largeur de 0,3 mètres, qui est équipé de la zone chaude pour 8S-Z. Les parois isolantes de cette zone chaude offrent une plage de température maximale de 1250 degrés Celsius. La machine est également équipée de TEL-ATOS, un logiciel propriétaire qui contrôle les températures dans la zone chaude ainsi que le thermocouple au fond du tube de quartz. Ceci assure un processus de diffusion uniforme et répétable. La machine est également équipée de trois appareils de chauffage indépendants, qui sont auto-calibrés. Il permet de contrôler efficacement la température de la zone chaude sur une plus grande surface et assure l'uniformité du processus de diffusion. La machine a également conçu avec un mécanisme d'auto-offset amélioré, réduisant le temps d'offset tout en laissant plus de temps pour se concentrer sur le processus. Sa structure de type C permet d'améliorer l'homogénéité Wi-Fi à plus grande capacité de pression ainsi que l'accès, permettant des processus de couches minces rapides et précis. Le 8S-Z dispose également d'un équipement intégré d'automatisation et de surveillance (AMS), qui permet le contrôle efficace de plusieurs machines avec le même système de contrôle. Cela permet de maximiser l'efficacité et le débit dans le processus de diffusion. Cette unité permet un rapport basé sur l'alarme de l'état du processus. La machine peut également détecter des conditions anormales et envoyer une alerte à l'opérateur. Le 8S-Z est également équipé de capacités de maintenance préventive et d'enregistrement des données, ce qui permet de réduire les temps d'arrêt et d'assurer un contrôle efficace des processus. Cela rend la machine facile à entretenir, et il peut surveiller et détecter avec précision tout problème potentiel. Le 8S-Z dispose également d'un cadre à double paroi pour une meilleure isolation thermique. Cela réduit la consommation d'énergie, tout en assurant un support rigide et un fonctionnement sûr. Cette fonctionnalité permet également de réduire le bruit et les vibrations, ce qui rend l'utilisation de la machine plus confortable. Dans l'ensemble, TEL ALPHA 8SZ est un four de diffusion de pointe qui peut gérer efficacement tous les types de tâches de traitement des plaquettes. Il est très fiable, avec des systèmes de contrôle intégrés et une multitude de fonctionnalités qui offrent un contrôle optimal du processus et l'uniformité.
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