Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293759914 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z est un four à diffusion et accessoire utilisé pour fabriquer des circuits intégrés (IC) très avancés. Avec un robot de chargement intégré, TEL ALPHA 8SZ est conçu pour le chargement et le déchargement rapides et précis des plaquettes. Cet outil efficace augmente le débit et réduit les risques de contamination et de perturbation. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z offre une capacité flexible pour le développement futur d'IC, car il est équipé de fours de chauffage inférieurs et supérieurs pour améliorer l'uniformité de température. Le four de diffusion lui-même est construit avec une technologie de pointe, y compris des chauffages de précision, un équipement de régénération d'énergie (ERS), et le contrôle différentiel du flux thermique. Le système ERS est conçu pour réduire la consommation d'énergie et augmenter l'efficacité énergétique, tandis que l'unité de contrôle du débit thermique différentiel fournit un chauffage et un refroidissement plus équilibrés de la plaquette pour diminuer la non-uniformité et augmenter le débit. ALPHA 8 S-Z dispose également d'une capacité d'injection multi-gaz, permettant l'intégration de différents gaz. Ces gaz peuvent être injectés à une large gamme de températures et peuvent être amenés en plusieurs points pour améliorer l'uniformité du processus de diffusion. L'homogénéité de température a également été améliorée par une machine à flux de gaz uniforme, qui assure une distribution régulière des gaz sans battement ni turbulence. Enfin, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Z dispose d'un outil de manutention de plaquettes de 350 mm qui combine manutention mécanique et pneumatique. Le moyen de manutention mécanique et pneumatique minimise les vibrations provoquées par le chargement/déchargement des plaquettes, réduisant ainsi les distorsions qui pourraient se produire lors de l'étape de transfert du substrat. Un autre avantage du modèle de manutention est qu'il permet un traitement optimal de la sortie du matériau. En bref, ALPHA 8SZ est un four de diffusion et accessoire qui fournit des performances supérieures, des niveaux de température précis, et une injection de gaz améliorée pour le plus haut niveau d'efficacité dans la fabrication de IC à haut débit. L'uniformité de température supérieure, l'injection de gaz améliorée et le contrôle de mouvement avancé de TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z en font l'outil idéal pour les fabricants de dispositifs semi-conducteurs qui cherchent à produire les circuits intégrés les plus avancés.