Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9239924 à vendre en France
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ID: 9239924
Style Vintage: 2000
Furnace
Polyimide cure
Quartz heater, P/N: 2187-323602-1C
PSU and UPS
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z est un four de diffusion et accessoire utilisé dans la production de circuits semi-conducteurs. Il est conçu pour le recuit, l'oxydation, la gravure et d'autres procédés nécessitant des températures élevées. TEL ALPHA 8SZ a une conception de chargement supérieur avec un équipement intégré pour contrôler l'atmosphère à l'intérieur du four, ce qui le rend adapté à une large gamme d'applications. En outre, le four de diffusion est extrêmement fiable en raison de ses caractéristiques de sécurité avancées, qui comprennent un double brûleur, un système de destruction de l'ozone et une vanne à vide protégée. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z est conçu pour traiter des plaquettes de 300mm de diamètre. Il est livré avec deux niveaux de chauffe, la zone haute température (HTZ) et la zone basse température (LTZ). La HTZ a une température maximale de 1700 ° C et une uniformité moyenne de ± 1 ° C sur l'ensemble de la plaquette. Le LTZ est utilisé pour la mise au point de procédés et a une température maximale de 800 ° C La précision de régulation de température des HTZ et LTZ est de 0,1 ° C Alpha 8S-Z est équipé de contrôleurs PID avancés (dérivé intégral proportionnel) pour assurer un contrôle de température très précis. Les contrôleurs entièrement programmables utilisent une interface utilisateur intelligente et des alarmes visuelles pour tenir l'utilisateur informé du processus. De plus, le four peut être télécommandé via une unité de télésurveillance et être utilisé pour de multiples procédés par lots. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z est également équipé d'une machine de transfert interne à une seule table. Cela permet un transfert rapide et efficace des substrats dans et hors du four. L'outil utilise une conception de plaque de pince mobile pour un chargement et un déchargement optimaux. Ceci assure un transport sûr des substrats entre les processus de chargement, de refroidissement et de recuit. TEL ALPHA 8 S Z four de diffusion utilise la technologie avancée de pompe à vide sec pour fournir une haute répétabilité de processus et une excellente qualité de processus. Le four est équipé de pompes à vide sèches séparées pour les sections LTZ et HTZ, assurant un meilleur contrôle des conditions de vide. En outre, TEL ALPHA 8 S-Z utilise une technologie avancée de destruction de l'ozone pour réduire la quantité d'ozone dans l'atmosphère du procédé. Cette technologie repose sur des catalyseurs de destruction de l'ozone céramique et contribue à réduire le risque de contamination par l'ozone dans les wafers traités. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ est un four de diffusion avancé conçu pour être fiable et facile à utiliser. Il est optimisé pour un large éventail de processus à haute et basse température, et est équipé de caractéristiques telles que les pompes à vide sèche, la technologie de destruction de l'ozone, et un actif de transfert interne, pour assurer une plus grande commodité d'utilisation et une meilleure qualité de processus.
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