Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281900 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z est un outil de pointe offrant des fours de diffusion et d'oxydation haute performance pour diverses applications, telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le four comporte une chambre intérieure entourée d'une chambre à vide élevé et peut atteindre une température maximale de 2500 ° C Il est équipé d'une source de plasma, d'un dispositif d'échappement et d'un équipement de fuite d'air zéro. Le four a une capacité de commande de 8 zones avec un réglage de puissance réglable in situ pour chaque zone, permettant un traitement uniforme ou sélectif. Il est également équipé de chargeur et de déchargeur pour plaquettes et d'un distributeur à 8 poches pour le chargement et le déchargement automatique. Le four de diffusion TEL ALPHA 8SZ comprend également une variété d'accessoires qui lui permettent de réaliser différents types de procédés, tels que le PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma), la pulvérisation et la croissance épitaxiale. Ces accessoires comprennent une chambre de prétraitement qui peut être utilisée pour le nettoyage, le préchauffage, le recuit et d'autres traitements thermiques, ainsi qu'une chambre de refroidissement pour réduire la plaquette à température ambiante après traitement. Il dispose également d'une sonde à plaquettes avec capteur de température pour contrôler l'homogénéité. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z est conçu avec un haut degré de sécurité, car il est équipé d'un interrupteur thermique et d'une vanne d'arrêt de gaz pour éviter les dommages si la température dépasse le niveau de consigne. Il a également des capacités de radioprotection et de protection contre la flamme. Le four est également construit avec un degré élevé de précision, car il utilise sur les capteurs de température pour surveiller la température de la chambre pour l'uniformité et un manomètre de pression atmosphérique pour réguler la pression du gaz. Le système a intégré le logiciel du centre de contrôle de l'unité pour surveiller les paramètres du processus. Alpha 8S-Z est une machine puissante et fiable conçue pour répondre aux besoins des approches avancées de diffusion et d'oxydation et est conviviale, avec un logiciel intuitif et une variété de fonctionnalités de sécurité. C'est un choix idéal pour produire de haute qualité avec une variété d'applications.