Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVN #9227414 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVN est un four de diffusion et des accessoires utilisés pour fabriquer des circuits intégrés monolithiques sur des plaquettes de silicium. Cette machine offre jusqu'à 12 tubes de procédé programmables indépendamment, et est capable d'exécuter une variété de processus en phase gazeuse, y compris l'oxyde thermique, le nitrure, les oxydes dopés et l'entraînement dopant. TEL ALPHA-8S-ZVN est équipé d'une chambre à tube en quartz offrant des performances thermiques supérieures, et est capable d'atteindre des températures ultra-élevées sur 1200 ° C avec un contrôle précis de la température. Afin d'assurer une homogénéité précise des processus de diffusion, chaque tube de TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVN est équipé d'un système précis de régulation de température à double zone, avec des températures de zone indépendantes, des réglages de préchauffage, de rampe et de température de refroidissement. Ceci offre un haut degré d'uniformité et de répétabilité, permettant un processus de fabrication précis. Alpha 8S-ZVN est également équipé d'un système automatisé de génération d'oxydants qui maintient avec précision et constance la concentration en oxygène dans la chambre de diffusion, permettant une épaisseur d'oxyde uniforme sur la plaquette. La machine est également équipée d'un sous-système de chargement de plaquettes RFID unique qui étiquète et suit chaque plaquette en toute sécurité tout au long du processus de diffusion, permettant une réplication facile et des temps de chargement de plaquettes plus rapides. TEL Alpha 8S-ZVN est également en mesure d'exécuter une gamme de processus dopants standard, y compris l'arsenic et le phosphore. Pour ces procédés, la machine est conçue avec la capacité de générer des mélanges d'azote ou d'argon/hydrogène, permettant un entraînement dopant plus sûr et plus efficace. La machine offre également une gamme d'options de post-entraînement et de nettoyage, y compris le vinyltriméthoxy silane simultané (VTMS) et le plasma d'argon/hydrogène. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVN est un four et des accessoires de diffusion très fiables et précis, idéal pour la fabrication de circuits intégrés monolithiques haute densité. Avec ses nombreuses caractéristiques de sécurité, son système de régulation de température fiable et son sous-système de chargement automatisé des plaquettes, il est un outil puissant pour la fabrication de circuits intégrés avancés.