Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293607761 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four de diffusion et des accessoires conçus pour traiter différents types de plaquettes jusqu'à 300mm et composants connexes avec des performances de mise en œuvre élevées. La machine offre des capacités de contrôle, de refroidissement et de traitement de grande capacité. Il comprend une variété de caractéristiques telles qu'une vanne de grille interne pour le transport des plaquettes, une chambre de diffusion et de recuit, et un équipement de pyrométrie pour une surveillance et un contrôle précis de la température. TEL ALPHA-8S dispose d'un système de contrôle des gaz de la série 1200, qui est intégré à la chambre de diffusion pour un contrôle précis de la température et des gaz pour une grande perméabilité, répétabilité et stabilité. La machine est équipée d'une interface multi-tâches pour une intégration efficace de travail de jusqu'à 8 types de substrat, huit types de travail, et huit tailles de porte-plaquettes. La pré-pompe à chaleur TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S permet un contrôle précis de la croissance de l'oxyde, et cinq robinets d'évaporateur permettent de contrôler la puissance et la stabilité. La capacité de surveillance de pression permet jusqu'à 200 torr contrôle de pression sur une large gamme de pièces, pour atteindre une profondeur de dopage optimale. De plus, le cOOLPOD encapsulé améliore la répétabilité des profils de température. La pompe sèche TEL Alpha 8S permet un débit de 300 substrats par heure, et son interface avec la suite d'applications Ewafer permet le contrôle logiciel et le diagnostic à distance. La machine est également équipée d'une porte pleine face pour assurer une répartition uniforme de la chaleur dans la chambre, et est certifiée pour exécuter une variété de substrats, avec la possibilité d'installer des porte-plaquettes supplémentaires, au besoin. La machine de pyrométrie intégrée est conçue pour détecter les changements de température, permettre le processus de précision et assurer la répétabilité sur une large gamme de substrats. La fonction intégrée d'enregistrement des données permet de saisir facilement les données pour un développement efficace des processus. Son automatisation est conçue pour être flexible, permettant ainsi la création optimisée de la recette de wafer et le suivi complet de wafer. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S fournit un outil très efficace pour traiter de grandes quantités de substrats jusqu'à 300mm. En combinant des fonctionnalités telles qu'un actif de contrôle intégré du gaz, une intégration et une automatisation efficaces des tâches, des systèmes de pyrométrie et de pompe à sec précis, et une capture et un suivi efficaces des données, Alpha 8S fournit une solution optimale pour une variété d'applications de traitement et de recuit de diffusion.