Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293627956 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four de diffusion multi-zones conçu pour faciliter tous les types de fours de diffusion. Il est conçu pour simplifier les processus de production et améliorer l'efficacité des lignes de production modernes. Il peut être utilisé pour réaliser le recuit, le prédiffusion, la réaction, l'oxydation thermique, la diffusion d'impuretés et d'autres procédés CVD/PVD. TEL ALPHA-8S est un four de diffusion multi-zones qui a été conçu pour réduire les coûts de production tout en améliorant la vitesse et la qualité. Le four est constitué d'une chambre de réaction contrôlée par microprocesseur et stabilisée en température, ainsi que des composants programmables de distribution de gaz de précision les plus récents. La construction robuste garantit les plus hauts niveaux de disponibilité, de fiabilité et de reproductibilité. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S 'chambre a une plage de température maximale de 300 ° C à 1150 ° C (en incréments de 1 ° C), permettant pour tous les types de processus de diffusion. Il dispose également d'un bateau unique et rotatif pour le chargement et le déchargement des plaquettes et des substrats. Par ailleurs, le four comporte un équipement de circulation de gaz inerte à haut rendement qui est contrôlé par la température de la chambre de réaction. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S propose également un certain nombre d'accessoires et d'options conçus pour améliorer son efficacité. Ces accessoires comprennent un système d'injection de gaz, un épurateur à gaz intégré et une unité de filtrage inverse. La machine d'injection de gaz permet l'introduction contrôlée d'aromatiques polycycliques et d'autres gaz, ce qui peut modifier le processus de diffusion. L'épurateur à gaz intégré assure l'élimination des sous-produits nocifs avant leur entrée dans la chambre de réaction. L'outil de filtrage inverse permet de surveiller l'échappement des gaz nettoyés. ALPHA 8 S est un choix idéal pour les grandes installations de production. Sa large plage de température et ses capacités programmables le rendent adapté à une large gamme de processus de diffusion. Sa conception robuste et ses accessoires efficaces améliorent encore l'efficacité des lignes de production.
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