Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293738386 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four de diffusion par lots polyvalent et semi-automatique et des accessoires qui permettent aux utilisateurs de générer avec précision des films de nitrure, d'oxynitrure et d'oxyde de nitrure. Il permet un traitement thermique de haute qualité avec une bonne homogénéité et reproductibilité, ce qui le rend idéal pour la production en série de dispositifs et de substrats. TEL ALPHA-8S est équipé d'un régulateur de température ultra précis, d'une surveillance et d'un réglage automatisés des processus, ainsi que d'un équipement de distribution verticale de gaz stable. Le four dispose d'un tube en quartz de 30 pouces, ancré, qui permet un chargement et un déchargement faciles des plaquettes. La température maximale de TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est de 1 150 ° C et la zone utilisable est notée pour permettre des réglages de température personnalisés sur les parties inférieure, moyenne et supérieure. Un système efficace et automatisé de contrôle des processus est mis en place pour permettre un traitement précis. La température, la pression et le temps de réaction peuvent être réglés en temps réel pour permettre un meilleur contrôle des processus préétablis. Le four est alimenté avec une nouvelle unité d'injection de gaz de type « Dual-Coil » qui est composée de deux bobines. Ces bobines peuvent être déployées indépendamment pour un contrôle accru du débit de gaz, améliorant l'uniformité des gaz et le contrôle global des procédés. En outre, Alpha 8S est conçu pour la flexibilité, permettant un fonctionnement à la fois manuel et entièrement automatique. Le contrôle manuel des processus offre des consignes programmables, permettant aux utilisateurs d'interagir facilement avec l'environnement et d'ajuster et de modifier rapidement les opérations en fonction des exigences du produit. Pour une performance d'oxydation optimale, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S est livré de série avec un moniteur d'oxydation intégré qui surveille et affiche l'activité d'oxydation thermique in situ. Cette machine de surveillance in situ fournit aux utilisateurs des données et des informations en temps opportun sur l'état d'oxydation du procédé, ce qui indique l'efficacité du procédé choisi. De plus, l'outil intégré de contrôle des processus fournit une rétroaction constante qui peut être utilisée pour optimiser l'uniformité des processus wafer-by-wafer. Les accessoires peuvent également être utilisés pour améliorer les performances de TEL ALPHA 8 S. Des options comme un capteur d'interruption de processus et un chargeur de bras flexible offrent un contrôle et une flexibilité supplémentaires. Ces caractéristiques peuvent garantir que les meilleurs résultats possibles sont atteints pendant la production. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est un four de diffusion exceptionnel et un kit d'accessoires. Avec son contrôle automatisé des processus, ses cotes à haute température et sa surveillance de précision, TEL Alpha 8S est capable de produire efficacement des produits de qualité. En utilisant ses options complètes d'accessoires, les utilisateurs peuvent personnaliser et peaufiner ALPHA-8S pour répondre au mieux à leurs besoins spécifiques.
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