Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293759912 à vendre en France
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ID: 293759912
Furnace, 8"
Process: HTSIC WDRIV
CIM: SECS
Carrier and wafer transfer unit
ASYST / Pb90C SMIF
Layout type: U / box type
LL Hand
VMU-40-007 Heater
Torch heater
Gases: N2, O2, H2, Trans-LC
Wafer Type: SEMI STD-Notch
Cassette Type: Entergris / XT200-01E
(25) Cassette wafers
(16) Cassettes
Fork type / material: 1+4 / AI208
Fork variable pitch
TS4000Z System controller
PYRO CTL Torch controller
Signal tower colours: G/R/A
Pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
M121 Furnace temperature controller
Does not include Quartzware
Gas distribution:
Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Finish: Electro-polished
FUJIKIN manual and air-operated valve
MFC
Power:
Single phase, 120 VAC
3 Phase, 208 VAC
UPS Input voltage / output voltage: 120/100 V
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four de diffusion et un accessoire conçu pour le procédé de dépôt de semi-conducteurs utilisé par les professionnels de la fabrication. TEL ALPHA-8S utilise une chambre en céramique, ce qui permet un processus continu de l'entrée au mobilier sortant. Cette chambre en céramique travaille en association avec un équipement éducateur de distribution de gaz pour améliorer le débit de gaz pour un transfert et un refroidissement efficaces des mélanges. Un suscepteur RF Graphite protège l'emballage contre la dégradation thermique et limite le contact entre le substrat et son environnement. Ce suscepteur est également conçu pour minimiser les niveaux d'électricité statique présents dans le four. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S four de diffusion est capable d'une variété de températures de processus, allant de 100 ° C à 1100 ° C Avec une température de plaque chauffante allant jusqu'à 1440 ° C, le four est capable de s'adapter à divers paramètres de processus. Ce four utilise une capacité d'inertage en chambre in situ avec un système automatisé de contrôle du matériel de méthane, conçu pour améliorer le contrôle des processus afin de minimiser les variations cassette-à-cassette pour des processus de dépôt optimisés. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est équipé de dispositifs de sécurité robustes, tels que des mécanismes de détection de pression, pour protéger le four de problèmes potentiels. La détection de pression augmente ou diminue automatiquement l'alimentation en gaz, assurant une atmosphère stable dans toute l'unité. Il comprend également une machine d'alarme à température qui peut être connectée à des alarmes à l'extérieur des fours et déclenchée en réponse à d'éventuels problèmes. Alpha 8S est également équipé d'un générateur de shiedl EMI pour éviter les interférences électromagnétiques. Il est spécialement adapté au traitement des semi-conducteurs, assurant la cohérence de la distribution de chaleur et des produits de haute qualité. Son amélioration par rapport aux modèles précédents comprend des caractéristiques telles que le double contrôle diagnostique et l'isolation d'oxyde d'aluminium dans la chambre extérieure. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S est un four de diffusion fiable et efficace, conçu pour renforcer le processus de dépôt des semi-conducteurs. Sa chambre en céramique et son suscepteur RF Graphite limitent le contact entre le fournisseur et son environnement, tandis que le générateur EMI Shield et les mécanismes de détection de pression offrent une protection supplémentaire, la rendant sûre et facile à utiliser. TEL ALPHA 8 S est un excellent choix pour ceux qui recherchent un processus stable et fiable.
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