Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293770344 à vendre en France

ID: 293770344
Style Vintage: 1996
Furnace 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four de diffusion haut de gamme et un ensemble d'accessoires, utilisé pour diverses applications de fabrication de semi-conducteurs. Les principaux composants du four comprenaient un tube de four vertical, une tour de poudre réglable et deux ensembles d'injecteurs. Le tube du four est conçu avec une chambre de section inférieure évacuée ow et est capable de couler des plaquettes ou des copeaux jusqu'à 300mm. La tour poudreuse réglable dispose d'un moteur d'entraînement intégré pour des réglages précis et permet le dépôt de couches d'oxyde surélevées. Les injecteurs permettent de déposer des couches d'oxyde plus épaisses de manière plus uniforme, avec un contrôle précis du rapport d'aspect. Une caractéristique supplémentaire de TEL ALPHA-8S est son dispositif de chauffage intégré, utilisé pour chauffer rapidement et avec précision les plaquettes ou les puces avant l'oxydation. Le système de contrôle intégré fourni avec TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est capable d'optimiser avec précision le débit de gaz, ainsi que le nettoyage, le préchauffage et le refroidissement des plaquettes. Le système de contrôle offre 24 zones de température, chacune avec son propre contrôleur PID programmable, ainsi que la visualisation de données en temps réel, la surveillance d'alarme en temps réel et une bibliothèque de données basée sur le nuage. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S comprend également divers outils accessoires pour la préparation de substrat, tels que le dépôt de neutrons cryogéniques, le recuit, la lithographie et le lavage des particules sans contact. En outre, les outils accessoires fournissent un soutien étendu aux techniques de métrologie avancées, y compris le balayage infrarouge, la spectroscopie et l'imagerie optique. En conclusion, TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four à diffusion haute performance pour la fabrication de semi-conducteurs et est conçu pour un contrôle précis de la température, du débit de gaz, de l'uniformité des particules et de la propreté du substrat. Il est livré avec des outils accessoires complets pour le contrôle des processus de précision, ainsi que des systèmes de contrôle intégrés pour l'acquisition de données en temps réel et le nettoyage des plaquettes.
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