Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293802479 à vendre en France
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ID: 293802479
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Vertical furnace, 8"
Process: ATM OXIDE
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four de diffusion à 8 chambres entièrement modulaire. Il offre des capacités de traitement précises et de haute qualité dans le domaine du traitement thermique homogène. Il répond à des applications à haut débit et est conçu pour gagner du temps grâce à un fonctionnement et une livraison supérieurs. TEL ALPHA-8S est conçu pour permettre une optimisation efficace des processus thermiques, avec des fonctionnalités de fonctionnement flexibles telles que des tailles de substrat multiples, des réglages de commande flexibles et une large gamme de composants intégrés. L'équipement de diffusion TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est équipé de systèmes de flux de gaz avancés. Le contrôle précis et précis de la température est obtenu en utilisant le flux précis de gaz d'échange de chaleur de haute qualité. Le débit de gaz à haute tolérance est réalisé par la vanne de contrôle du débit de gaz et l'injecteur de gaz à haut rendement. Le gradient thermique précis créé par l'injection est conçu pour réduire les effets de bord et améliorer l'uniformité. Le four de diffusion TEL ALPHA 8 S est équipé de substrats céramiques performants et à faible impact pour des temps de traitement plus courts et une meilleure qualité. Les substrats céramiques durables résistent même aux applications les plus agressives du procédé, ce qui permet d'augmenter les performances temps/rendement. De plus, les céramiques présentent également une large gamme de matériaux tolérants à la température, ce qui garantit des résultats de traitement précis et uniformes. L'équipement de diffusion TEL Alpha 8S est équipé d'une alimentation électrique intégrée et de divers dispositifs de sécurité pour assurer un fonctionnement sûr. L'alimentation intégrée dispose d'un réglage de puissance maximale prédéfini pour éviter les dommages de surchauffe, tandis que la large gamme de caractéristiques de sécurité comprennent des moniteurs automatiques de surveillance des filtres et des modules de refroidissement, la protection contre la température et la surpression, qui aident à assurer une protection complète contre les dommages. Le four de diffusion TEL ALPHA-8 S est également équipé d'un logiciel de pointe permettant un contrôle et une surveillance précis de l'ensemble du système. Le logiciel peut être utilisé pour optimiser les paramètres du processus, configurer les paramètres et surveiller les tendances. En outre, il comprend un puissant système d'acquisition et d'analyse de données, permettant la surveillance et l'analyse des paramètres du processus en temps réel. Enfin, les équipements de diffusion TOKYO ELECTRON ALPHA-8S sont équipés de techniques de transfert et de transport de plaquettes, y compris les modules de transfert de robot, les modules de céramique de bain CF et les techniques de manutention de plaquettes. Cela permet une optimisation efficace des processus et garantit que les plaquettes peuvent être manipulées en toute sécurité et avec précision. En conclusion, TOKYO ELECTRON Alpha 8S et ses accessoires constituent une solution fiable, efficace et économique pour le traitement thermique à haut débit. Sa conception innovante, sa précision, sa qualité et sa sécurité en font le choix idéal pour les applications de traitement thermique intensif.
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