Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293811673 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S
ID: 293811673
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2018
Furnace, 8" Process: Phosphoryl chloride (POCl₃) deposition 2018 vintage.
Le TELTEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un équipement de four de diffusion et un ensemble d'accessoires pour des applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir la précision et l'uniformité nécessaires pour les processus avancés tels que l'implant laser, l'épitaxie, l'oxydation humide, le traitement thermique, l'oxydation de grille et l'implantation ionique. Cet ensemble de four et d'accessoires est conçu pour répondre aux exigences spécifiques du procédé, pour assurer une épaisseur et une uniformité de couche précises et pour minimiser les temps d'arrêt du système. TEL ALPHA-8S se compose d'une chambre extérieure, où les plaquettes sont chargées, et d'une chambre intérieure, où le processus de diffusion a lieu. Le centre de la chambre extérieure est équipé d'un porte-cassette automatique. Des ascenseurs situés à chaque coin du support permettent de transférer doucement les plaquettes dans la chambre interne pour traitement. La chambre intérieure est équipée d'un certain nombre de sources de diffusion qui peuvent être contrôlées avec précision. Parmi les nombreux accessoires qui viennent avec TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est une source de paroi chaude. Ceci permet le dépôt uniforme d'oxydes thermiques d'épaisseur sous micron et d'excellente qualité. Grâce à cette source, on peut réaliser des couches de diffusion de plus de 90 % d'uniformité. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S dispose également d'une source de diffusion de portes C-MOS, qui permet de contrôler avec précision les dimensions de grille et l'épaisseur du film. En plus de ces sources de diffusion, TEL ALPHA 8 S est également livré avec une unité de gaz robuste pour assurer l'acheminement efficace des gaz de gravure et d'oxydation. Cette machine est préemballée avec des tuyaux spéciaux et des vannes pour une installation facile. TEL Alpha 8S comprend également un outil de régulation de température très précis. Cela permet une répartition uniforme de la chaleur sur toute la surface de la plaquette. En conclusion, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S est un ensemble d'accessoires et d'actifs de fours à diffusion hautement capables, parfaitement adaptés aux procédés semi-conducteurs complexes. Il est équipé de nombreuses caractéristiques qui fournissent le niveau de précision et d'uniformité nécessaire pour des tâches avancées de fabrication d'appareils. Avec son modèle spécial de gaz, son équipement de régulation de la température sur plaquette et sa source de paroi chaude, cet emballage assure un processus de diffusion fiable et efficace.
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