utilisé TEL / TOKYO ELECTRON ALPHA 8S à vendre

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ID#: 62757 Fabricants: TEL / TOKYO ELECTRON Maquette: ALPHA 8S Catégorie: DIFFUSION FURNACES & ACCESSORIES Cru: 1997 Wafer Size: 8" Détails de l'équipement: Diffusion doped poly furnaces, 8" LPCVD Phosphorus Doped Poly process configuration 150 production wafer load size TS4000Z system controller 440 V power requirement Boat rotation Tape heater and associated control Remote gas detection Exhaust monitors Tylan General throttle control Ulvac GP-2ARY vacuum monitor Gas System UHP N2 2x N2 10%Ph3/He SiH4 ClF3 1997 vintage.
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