Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9060551 à vendre en France
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Vendu
ID: 9060551
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1993
Nitride Furnace, 8"
Interface cassette, 8"
100 wafer load size with 150 upgrade & end-effector available
Facilities entry at bottom
Wide body style
Right sided
Brooks 5964 MFCs
MFC 1 - 20 slm N2
MFC 2 - 500 sccm N2
MFC 3 - 3 slm N2
MFC 4 - 100 sccm Ar
MFC 5 - 2 slm NH3
MFC 6 - 500 sccm SiH2Cl2
Edwards QDP80 /QMB1200 Pump stack
SOLA UPS
NBest battery back up
Heat traced exhaust line with system
MKS heated throttle valve model 653B-13162
Main controller is TS 4000Z
1000 C heater core
Lip seal: No
Inner T / C8
Linear aligner UP/DOWN axis slide motions
Single or 5 wafer loading
Variable pitch: No
Tube, external Nitride 07-00106
Tube, internal Nitride 07-00218
Injector #1 Nitride 12mm 07-00219
Injector #2 Nitride 45mm 07-0220
Injector #3 Nitride 500mm 07-00221
Cover, cap Nitride 07-0225
Pedestal, Nit / All / Ann 07-00227
Pedestal cover, Nit / Al / Ann 07-00227
Boat, Sic 07-00124-00
Process tube, 16"
Rapid cooling
3 Phase
Voltage: 208V
60 Hz
SMIF loader: No
N2 purged loadlock: No
WIP Carrier storage capacity: 8
End-effector: 1 or 5 Fixed Pitch
Boat rotation: Yes
Furnace:
Temperature controller: Model 120
(5) Zones
Heater type: VMM-40-004
Rapid cooling configuration: Yes
Tube seal configuration: O-ring
Temperature control methodology: PID
Thermocouple type: R
Process gas control system:
General
External torch: No
H2 Burn off: No
Bubbler system: No
Gas leak dectection: No
Moisture sensor: No
Process gases (LPCVD)
MFC1 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: N2
Flow rate: 20 SLM
MFC2 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: N2
Flow rate: 500 SCCM
MFC3 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: N2
Flow rate: 3 SLM
MFC4 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: Ar
Flow rate: 100 SCCM
MFC5 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: NH3
Flow rate: 2 SLM
MFC6 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: SiH2Cl2
Flow rate: 500 SCCM
MFM1 Model/type: BROOKS 5964
Process gases: SiH2Cl2
Flow rate: 500 SCCM
Vacuum pump: EDWARDS
Blower capacity: QMB1200
Dry pump capacity: QDP80
Pressure controller: Varian-TEL LR300
Process manometer: 10 Torr MKS 625A
Pressure differential manometer: 1000 Torr MKS 625A
Pump manometer: 100 Torr MKS 625A
Inline coldtrap: yes
1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four de diffusion haute performance et des accessoires conçus pour permettre le traitement de précision des plaquettes semi-conductrices, des dispositifs à couches minces, MEMS, optoélectroniques et autres dispositifs électroniques de ce type. Avec TEL ALPHA-8S, même les procédés de fabrication les plus avancés peuvent être réalisés avec une précision remarquable et un débit élevé. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est équipé d'une chambre à vide compacte, d'un volume de 95 litres, et d'une chemise de chambre à quartz à six segments pour une homogénéité de température supérieure. Cette conception permet un contrôle rapide et précis de la température jusqu'à 1400 ° C, avec une uniformité de température ± 1,2 ° C En outre, son équipement de chauffage refroidi par air forcé est conçu pour maintenir et optimiser les performances pour une utilisation à long terme. Alpha 8S est équipé d'un système de distribution de gaz de haute précision, capable de fournir une multitude de gaz - dont l'argon, l'hélium, l'azote et l'oxygène - ainsi que des gaz réactifs comme l'hydrogène et le deutérium. Cette unité de distribution de gaz est cruciale pour la plupart des processus de diffusion, car elle assure l'acheminement cohérent et fiable de tous les gaz vers les zones cibles. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est également équipé d'une variété de fonctionnalités avancées conçues pour assurer la sécurité et la fiabilité. Ces caractéristiques comprennent un moniteur d'ozone pour détecter les concentrations d'ozone en tout point du four, un régulateur de pression à haute vitesse, ainsi qu'une machine de surveillance à haute vitesse de la surtension pour prévenir les dommages à la température excessive, et un capteur de température du réchauffeur infrarouge pour surveiller et contrôler la température de la chambre de chauffage. TEL ALPHA-8 S est conçu pour un fonctionnement fiable dans un environnement de salle blanche, avec des caractéristiques telles qu'un boîtier de protection qui évite la contamination de la chambre de procédé, et un outil de surveillance optique qui détecte les portes et fenêtres ouvertes/fermées. Enfin, TOKYO ELECTRON ALPHA-8S est équipé d'un outil de journalisation des données, capable d'enregistrer les températures, les pressions, les temps de processus et d'autres paramètres critiques du processus. Ces données peuvent être consultées à distance, et enregistrées dans des fichiers PC pour une analyse ultérieure. En résumé, TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four à diffusion avancée et des accessoires conçus pour le traitement de précision d'une variété de types de semi-conducteurs et de dispositifs électroniques. Avec sa chambre à vide compacte, son uniformité de température, son modèle de livraison de gaz de haute précision et ses caractéristiques de sécurité avancées, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S est bien adapté aux procédés de fabrication performants.
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