Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9060551 à vendre en France

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ID: 9060551
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1993
Nitride Furnace, 8" Interface cassette, 8" 100 wafer load size with 150 upgrade & end-effector available Facilities entry at bottom Wide body style Right sided Brooks 5964 MFCs MFC 1 - 20 slm N2 MFC 2 - 500 sccm N2 MFC 3 - 3 slm N2 MFC 4 - 100 sccm Ar MFC 5 - 2 slm NH3 MFC 6 - 500 sccm SiH2Cl2 Edwards QDP80 /QMB1200 Pump stack SOLA UPS NBest battery back up Heat traced exhaust line with system MKS heated throttle valve model 653B-13162 Main controller is TS 4000Z 1000 C heater core Lip seal: No Inner T / C8 Linear aligner UP/DOWN axis slide motions Single or 5 wafer loading Variable pitch: No Tube, external Nitride 07-00106 Tube, internal Nitride 07-00218 Injector #1 Nitride 12mm 07-00219 Injector #2 Nitride 45mm 07-0220 Injector #3 Nitride 500mm 07-00221 Cover, cap Nitride 07-0225 Pedestal, Nit / All / Ann 07-00227 Pedestal cover, Nit / Al / Ann 07-00227 Boat, Sic 07-00124-00 Process tube, 16" Rapid cooling 3 Phase Voltage: 208V 60 Hz SMIF loader: No N2 purged loadlock: No WIP Carrier storage capacity: 8 End-effector: 1 or 5 Fixed Pitch Boat rotation: Yes Furnace: Temperature controller: Model 120 (5) Zones Heater type: VMM-40-004 Rapid cooling configuration: Yes Tube seal configuration: O-ring Temperature control methodology: PID Thermocouple type: R Process gas control system: General External torch: No H2 Burn off: No Bubbler system: No Gas leak dectection: No Moisture sensor: No Process gases (LPCVD) MFC1 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: N2 Flow rate: 20 SLM MFC2 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: N2 Flow rate: 500 SCCM MFC3 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: N2 Flow rate: 3 SLM MFC4 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: Ar Flow rate: 100 SCCM MFC5 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: NH3 Flow rate: 2 SLM MFC6 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: SiH2Cl2 Flow rate: 500 SCCM MFM1 Model/type: BROOKS 5964 Process gases: SiH2Cl2 Flow rate: 500 SCCM Vacuum pump: EDWARDS Blower capacity: QMB1200 Dry pump capacity: QDP80 Pressure controller: Varian-TEL LR300 Process manometer: 10 Torr MKS 625A Pressure differential manometer: 1000 Torr MKS 625A Pump manometer: 100 Torr MKS 625A Inline coldtrap: yes 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four de diffusion haute performance et des accessoires conçus pour permettre le traitement de précision des plaquettes semi-conductrices, des dispositifs à couches minces, MEMS, optoélectroniques et autres dispositifs électroniques de ce type. Avec TEL ALPHA-8S, même les procédés de fabrication les plus avancés peuvent être réalisés avec une précision remarquable et un débit élevé. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est équipé d'une chambre à vide compacte, d'un volume de 95 litres, et d'une chemise de chambre à quartz à six segments pour une homogénéité de température supérieure. Cette conception permet un contrôle rapide et précis de la température jusqu'à 1400 ° C, avec une uniformité de température ± 1,2 ° C En outre, son équipement de chauffage refroidi par air forcé est conçu pour maintenir et optimiser les performances pour une utilisation à long terme. Alpha 8S est équipé d'un système de distribution de gaz de haute précision, capable de fournir une multitude de gaz - dont l'argon, l'hélium, l'azote et l'oxygène - ainsi que des gaz réactifs comme l'hydrogène et le deutérium. Cette unité de distribution de gaz est cruciale pour la plupart des processus de diffusion, car elle assure l'acheminement cohérent et fiable de tous les gaz vers les zones cibles. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est également équipé d'une variété de fonctionnalités avancées conçues pour assurer la sécurité et la fiabilité. Ces caractéristiques comprennent un moniteur d'ozone pour détecter les concentrations d'ozone en tout point du four, un régulateur de pression à haute vitesse, ainsi qu'une machine de surveillance à haute vitesse de la surtension pour prévenir les dommages à la température excessive, et un capteur de température du réchauffeur infrarouge pour surveiller et contrôler la température de la chambre de chauffage. TEL ALPHA-8 S est conçu pour un fonctionnement fiable dans un environnement de salle blanche, avec des caractéristiques telles qu'un boîtier de protection qui évite la contamination de la chambre de procédé, et un outil de surveillance optique qui détecte les portes et fenêtres ouvertes/fermées. Enfin, TOKYO ELECTRON ALPHA-8S est équipé d'un outil de journalisation des données, capable d'enregistrer les températures, les pressions, les temps de processus et d'autres paramètres critiques du processus. Ces données peuvent être consultées à distance, et enregistrées dans des fichiers PC pour une analyse ultérieure. En résumé, TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four à diffusion avancée et des accessoires conçus pour le traitement de précision d'une variété de types de semi-conducteurs et de dispositifs électroniques. Avec sa chambre à vide compacte, son uniformité de température, son modèle de livraison de gaz de haute précision et ses caractéristiques de sécurité avancées, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S est bien adapté aux procédés de fabrication performants.
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