Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9060562 à vendre en France

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ID: 9060562
Vacuum anneal furnace, 8" 8" Interface cassette Through wall installation H2 and N2 Anneals Brooks 5964 MFCs MFC 1 - N2 10 slm MFC 2 - N2 10 slm MFC 3 - H2 5 slm MFC 4 - H2 10 slm MFC 5 - H2 5 slm (2) Hydrogen detectors (100) Wafer loads 1200C Heat range core Rapid cool Lipseal, Inner T/C, linear aligner up / down axis side motions No variable pitch: Single or (5) wafer 16" Process tube TS-4000Z Controller Temperature controller: Model 121 Boat, CLN OX - 07-00202 Cover pedestal - 07-00204 Pedestal - 07-00205 PFA tube (6.35x4.35x1.0T) 3 Phase Voltage: 208V Direction: Left Load station: (2) I/O Ports (2) Cassette arms SMIF Loader: No N2 Purged loadlock: No WIP Carrier storage capacity: 8 End effector: 1 or 5, Fixed pitch Wafer spacing: Fixed Boat rotation: No Furance: (5) Zones Heater type: VMM-35-001 Rapid cooling configuration: No Tube seal configuration: O-ring Temperature control methodology: PID Thermocouple: Type R External torch: No H2 Burn off: No Bubbler system: No Gas leak detection: Yes (H2 and O2) Moisture sensor: No Process gases (atmospheric): N2, H2 MFC1 Model / type: Brooks 5964 Process gases: N2 Flow rate: 20 SLM MFM1: Model / type: Brooks 5964 Process gases: N2 Flow rate: 10 SLM MFC2 Model / type: Brooks 5964 Process gases: H2 Flow rate: 5 SLM MFC3 Model / type: Brooks 5964 Process gases: H2 Flow rate: 10 SLM MEC4 Model / type: Brooks 5964 Process gases: H2 Flow rate: 5 SLM Process pressure control system: Vacuum pump: EDWARDS QDP80 Pressure controller: VARIAN LR300 Process manometer: MKS 625A 100 Pressure differential manometer: MKS 625A 1000 Inline cold trap: No Inline particle trap: No Manuals.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un appareil de four à diffusion haute performance conçu pour la production de MEMS, de semi-conducteurs, d'écrans plats et d'oxyde métallique. Il dispose d'une chambre de four autonome avec un processus automatisé en plusieurs étapes qui est optimisé pour les paramètres avancés du processus thermique. Il utilise un procédé piloté par ordinateur pour contrôler toutes les opérations de chauffage et de refroidissement de la chambre du four. TEL ALPHA-8S est équipé d'un système manuel de dépôt de quartz et de creusets automatiques, d'émetteurs infrarouges, d'un refroidissement à air variable et d'autres réglages avancés, ainsi que d'un système de chauffage breveté TEL « Lone Beacon » qui oriente l'énergie RF dans la chambre pour chauffer ou refroidir rapidement et précisément la charge cible. Différentes variables de processus telles que la température, le temps, la pression et les gaz atmosphériques peuvent être ajustées en fonction des exigences spécifiques des applications. Cette technologie de pointe offre des performances inégalées pour les applications critiques de traitement thermique, permettant aux utilisateurs de profiter de paramètres de processus avancés pour un rendement élevé et des résultats de haute précision. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S dispose d'une unité d'échappement intégrée pour éliminer les gaz nocifs et les particules atmosphériques, ainsi que de caractéristiques réglables pour répondre à différentes applications de processus, y compris le traitement des plaquettes d'oxyde métallique et de silicium. ALPHA 8 S est l'un des systèmes les plus fiables et les plus efficaces disponibles, avec une couverture 100 % test fournissant des résultats de qualité inégalés. L'uniformité de température est un niveau de référence, atteignant +/- 5 ° C ainsi qu'un contrôle de pression précis avec une résolution de 0,01 kPa. Son interface utilisateur intuitive le rend facile à apprendre et à utiliser, et les contrôles numériques permettent une optimisation facile des processus. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S offre également un certain nombre de caractéristiques de sécurité, telles que des embouts tactiles ouverts, l'arrêt automatique lorsque la température ou la pression excessive est détectée, et l'autosurveillance des cycles de préchauffage et de refroidissement. Cette machine polyvalente est conçue pour répondre à des normes industrielles strictes, ce qui en fait un choix idéal pour un traitement thermique avancé.
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