Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9078699 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9078699
Furnace, 8"
Process: Poly
Safety specification: TEL Standard
System power rating:
AC200V, 3P / AC100V, 1P
Loading configuration:
(4) Loaders / (127) Wafer Slots
Process pressure (Torr): Low pressure
Process temperature: 600º C
FTP Heater: Installed
Rapid cooling unit: Installed
Heater type: VOS-40-017
Process gases:
Process gas MFC 1,2,3,4: N2
Process gas MFC 5, 6: SiH4
Process gas MFC 7, 8, 9: PH3
Gas system:
Filter: MOTT Pou-20S-SV2, Ni
Air valve: FUJIKIN Diaphragm type
Mega-mini and block
MFC: STEC SEC-74 series
Check valve: FUJIKIN O-ring seal type
Hand valve: FUJIKIN: Diaphragm type
Regulator: VERIFLO SQ series
Pressure transducer: NAGANO ZT 17
Others:
Joint: Gasket type: Pure nickel type
Piping material: SUS316L Up tube
Piping working method: Welding
Welding methods: Automatic welding
Gas exhaust system:
Dry pump: EBARA A150W-T
Main valve: MKS 172-1080P
Vacuum gauge: MKS Baratron sensor normal
Joint:
Gasket
JIS Method
Piping material: SUS316BA, Stainless steel
APC: MKS 253B-3-80-2, Butterfly valve
VG1: 0 to 10 Torr, Normal type
VG2: 0 to 1000 Torr, Normal type
VG3: ULVAC GP-2A, Pirani gauge
P.SW: Pueron, over pressure detect
Manifold:
Structure:
Sealing method: End point sealing
Material: SUS316L Stainless steel
Port:
Gas port: 3/8" Ultra torr
Inner T/C port: 20DAI Ultra torr
Exhaust port: 3: DIA
Cooling method: Water cooling
Safety interlock :
Gas flow low MFC: Too low gas flow
Alarm: > 5%
Abort: ± 10%
Gas flow high MFC: Too high gas flow
Alarm: > 5%,
Abort: ± 10%
Low PCW flow: No PCW supply
Alarm: > 3 min
Abort: > 5 min
Heater break down: > 7 min
PCW Leak detection: Alarm
Process heater over temperature: Chamber over heat
Heater break down: > 3 sec
Furnace area over temperature: Alarm
Heater break down: > 3 sec
SCR Area over temperature: Alarm
Heater break down: > 3 sec
Interruption of electric power: Alarm
Abort: < 3 sec
Heater break down: > 3 sec
Gas flow sequence: Alarm,abort
Pump off: Alarm, abort
Pump trouble: Alarm
Pressure low (reactor tube pressure): Alarm, abort
Pressure high (reactor tube pressure): Alarm, abort
.
Leak check (reactor tube pressure):
Main valve off delay: 10 min
Abort: > 20mTorr
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four et un accessoire de diffusion de pointe du premier fabricant japonais d'équipements semi-conducteurs, TEL. Il est conçu pour être utilisé dans la production d'une large gamme de dispositifs semi-conducteurs. TEL ALPHA-8S dispose d'une technologie de diffusion avancée et d'accessoires permettant une fabrication rapide et efficace de composants semi-conducteurs de haute qualité. Le four de diffusion TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est constitué d'une zone de convection supérieure et d'une zone rayonnante inférieure, chacune étant optimisée pour fournir le meilleur profil de température et de débit pour un chauffage rapide et uniforme des composants semiconducteurs individuels. Le four dispose d'un équipement exclusif de nitrure de gaz (GNS) pour aider à produire des couches de nitrure de haute performance. Le système intégré de régulation de la température ambiante garantit que l'équipement est maintenu à la température optimale. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S dispose de plusieurs fonctionnalités avancées pour des performances et une flexibilité élevées. Il dispose de la technologie « Multi-Zone » qui fournit jusqu'à 4 zones à température égale distinctes pour le traitement simultané des lots et des plaquettes simples. Il dispose également d'une unité de contrôle automatique de la température (ATCS) brevetée qui ajuste automatiquement le processus de chauffage pour optimiser les propriétés des matériaux et minimiser les défauts. Alpha 8S est équipé des boîtes à gaz les plus récentes et est capable d'utiliser différents types de gaz pour chaque étape de traitement. Pour la production de composants de haute complexité, TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S fournit une vaste gamme d'accessoires. Il s'agit notamment d'une station de pulvérisation, d'une station de placage sans électrolyse et d'une chambre de décollage laser. Un module de métrologie multi-contacts de haute précision est disponible pour l'évaluation sur place de composants complexes. ALPHA 8 S peut être utilisé dans le cadre d'une plus grande machine de production ou comme four de diffusion autonome. Son interface utilisateur est très intuitive, permettant une programmation et une maintenance faciles. De plus, TEL ALPHA 8 S est conçu pour une faible maintenance et une fiabilité à long terme. Cela en fait un choix idéal pour la production en grand volume de composants semi-conducteurs.
Il n'y a pas encore de critiques