Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9216298 à vendre en France
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Vendu
ID: 9216298
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Vertical furnace, 8"
Process: LPCVD Nitride
Main system:
Main body
Utility box
Includes:
System layout type: U / Box Type (L)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: WMM-40-101 Mid temperature
Torch heater
SMIF: TEL Integrated SMIF
Process gases:
N2 (20SLM)
N2 (5SLM)
N2 (1SLM)
NH3 (2SLM)
DCS (200SCCM)
O2 (2SLM)
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual valve: FUJIKIN
Air-operated valve: FUJIKIN
MFC: AERA
Wafer / Cassette handling:
Wafer type: 8" SEMI STD-Notch
Cassette type: Entergris / XT200-01E
Cassette number of wafers: 25
(16) Cassettes storage
Fork type / Material: 1+4
Fork variable pitch: Variable
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Boat rotation installed
System controls:
System controller: TS-4000Z
Signal tower colors: G/R/A
General pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
Furnace temperature controller: M121
Host communications:
Host communications: User host computer
User host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Power:
Voltage 3 Phase: 208 VAC
Voltage 1 Phase: 120 VAC
UPS Input voltage / Output voltage: 230 V / 230 V
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four de diffusion de qualité industrielle et un ensemble d'accessoires, parfait pour la fabrication de semi-conducteurs et autres dispositifs. TEL ALPHA-8S est basé sur une plate-forme de transfert linéaire à cassette à quartz (QCLT), une technologie innovante offrant un contrôle, une précision et une reproductibilité inégalés dans la fabrication des semi-conducteurs. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S dispose d'une chambre de processus avancée à 8 étages pour fournir des procédés de recuit, d'entraînement et autres procédés de diffusion à haute performance. Avec un contrôle programmable de la température sur chaque étage, TOKYO ELECTRON Alpha 8S peut rapidement chauffer et refroidir les matériaux pour former des microstructures parfaitement cohérentes avec des paramètres de processus serrés et des caractéristiques uniformes du dispositif. TOKYO ELECTRON ALPHA-8S dispose également de sources thermiques réglables et de capacités d'empreinte réduite pour une flexibilité complète dans les configurations de processus potentielles. L'ensemble comprend des systèmes réflecteurs intégrés pour une uniformité maximale des rayonnements, permettant un contrôle de haute précision des processus de température. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S comprend également plusieurs systèmes de protection et de vide pour assurer un processus de diffusion sûr et ininterrompu. Le forfait comprend une vanne septum et une armoire de sélection de gaz, qui vous permettent de commuter rapidement et en douceur entre différents gaz pendant le processus. TEL Alpha 8S dispose également d'un système de contrôle automatique des fuites pour surveiller l'intégrité de la chambre et identifier rapidement les fuites de gaz. En termes de sécurité, TEL ALPHA 8 S dispose d'une variété de capteurs et de moniteurs pour détecter les risques potentiels de processus. Le forfait comprend des pyromètres infrarouges et conventionnels pour des mesures de température précises afin de garantir des processus de diffusion précis, sûrs et reproductibles avec TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S. Outre ses excellentes capacités de diffusion automatisées, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S est également livré avec une gamme complète d'accessoires pour vous aider à tirer le meilleur parti du forfait. Le forfait comprend des systèmes de chargement pneumatique, des circuits thermocouple, des systèmes de détection et de contrôle, et plusieurs capteurs, moniteurs et autres. Dans l'ensemble, le four de diffusion ALPHA-8 S et les accessoires sont la solution idéale pour des processus de diffusion précis et cohérents. Fiable, sûr, et avec une sélection complète de commandes et d'accessoires, ce paquet assurera le succès de votre prochain processus de diffusion.
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