Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9227415 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four à diffusion et accessoires sur mesure pour les technologies silicium sur isolant (SOI) et silicium sur saphir (SOS). Il est conçu avec les dernières innovations dans l'ingénierie des procédés, les systèmes de contrôle, et les normes de sécurité les plus élevées, permettant une excellente flexibilité de processus pour le traitement des plaquettes dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. TEL ALPHA-8S dispose d'un équipement de gravure plasma, d'un système comburant, d'une unité d'échappement, d'un écran d'instrumentation thermique et d'un port de chargement. Le mandrin électrostatique (ESC) aide à maintenir la température des plaquettes et à contrôler le processus de gravure de l'oxyde sensible à la température critique pour les technologies SOI et SOS. Le matériel de l'ESC est situé sur le côté arrière, les bourrelets de dépression étant situés à l'arrière. Il dispose d'un four à haute température qui peut traiter jusqu'à 1050 ° C et est contenu dans une machine d'échappement avancée avec une chambre de chauffage contre-pression outil pour une sécurité de haut niveau. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S dispose également d'un contrôleur avec une interface utilisateur graphique (interface graphique) et un atout de surveillance à distance qui permet aux utilisateurs de surveiller leur processus depuis des endroits éloignés. Ce modèle de surveillance à distance utilise un serveur web et une interface de navigateur, ce qui permet aux opérateurs d'ajuster les recettes facilement. Il enregistre également les mesures de température et de pression, les concentrations chimiques et les débits d'échappement pour l'inspection et l'analyse. Un équipement de pulvérisation en option peut être intégré à TEL Alpha 8S pour créer des groupes fins de particules flottantes et assurer une répartition uniforme des particules sur la plaquette. Ce système peut également être utilisé pour modifier la vitesse de dépôt et le motif des matériaux pelliculaires tels que le silicium et le dioxyde de silicium. En plus de son ensemble de fonctionnalités robustes, ALPHA 8 S respecte les normes de sécurité les plus élevées de l'industrie et garantit un environnement de travail propre et sûr, réduisant les risques des produits chimiques et matériaux dangereux sont utilisés de manière contrôlée et contrôlée. Grâce à ses capacités avancées d'ingénierie et de surveillance des processus, TOKYO ELECTRON ALPHA-8S est l'outil parfait pour le traitement SOI et SOS dans l'industrie moderne des semi-conducteurs.