Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9257734 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four à diffusion et accessoire commandé par ordinateur qui est utilisé pour créer des circuits intégrés à partir de plaquettes de silicium monocristallin. TEL ALPHA-8S est conçu pour assurer un traitement à haut débit et une uniformité sur tout le plan de traitement, permettant la fabrication de structures complexes avec un minimum d'intervention manuelle. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est équipé d'un tube de chargement vertical en 3 parties, constitué d'un manchon en quartz, d'un manchon en céramique et d'un boîtier en métal. La configuration de chargement vertical a été conçue pour aligner l'ensemble de la plaquette chargée avec la zone de haute température au centre du four. Ceci assure une température élevée uniforme dans toute la zone de chargement et contrôle la convection verticale de l'air chaud, ce qui contribue à prévenir les dommages d'oxydation et d'oxydation de la plaquette. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S comporte trois zones de chauffage (HZ) : la zone de préchauffage (PHZ), la zone de charge (LZ) et la zone de traitement (PZ). Le PHZ varie de 100 ° C à 200 ° C et est utilisé pour chauffer les plaquettes à la température désirée avant d'entrer dans la ZL. La ZL est divisée en deux régions, la région supérieure (TR) et la région inférieure (BR). Ces deux régions sont équipées d'un système de régulation indépendante du gaz et de la température qui permet un contrôle précis du débit et de la température du gaz. La ZL est chauffée à des températures allant de 800 ° C à 1300 ° C avec une uniformité de température de +/-5 ° C sur tout le plan de chargement. La PZ peut atteindre des températures allant de 1500 ° C à 1800 ° C, tout en maintenant une uniformité de +/-5 ° C sur l'ensemble du plan de traitement. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S propose également un ensemble complet d'accessoires tels que des consoles de contrôle de gaz, des élévateurs de plaquettes, des ensembles de tubes en quartz et en céramique, des creusets spéciaux et des embouts de porte qui améliorent la fonctionnalité. TOKYO ELECTRON Alpha 8S peut être personnalisé pour répondre aux besoins particuliers de l'utilisateur. Les options sont fournies dans les instructions manuellement, via un PC, ou via un écran. Alpha 8S offre un contrôle de processus supérieur sous la forme d'un logiciel TEL Advantage pour Windows 95/98/NT. Ce logiciel puissant est conçu pour simplifier le contrôle du processus en simplifiant le fonctionnement du four, en aidant à la mise en place du processus et en fournissant une capacité d'enregistrement des données. Le logiciel prévoit également l'analyse de données et la collecte d'ensembles de données prédéfinis pour l'analyse statistique. TEL ALPHA 8 S est une combinaison exceptionnelle de performances, de technologie et de commodité qui permet de fabriquer des circuits intégrés à haut débit et uniformes. C'est un système fiable et facile à utiliser qui convient pour le traitement d'une seule plaquette jusqu'à une taille maximale de 30cm.