Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9062879 à vendre en France
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Vendu
ID: 9062879
LP-CVD System, 8"
Nitride / Poly / D-POLY / HTO
Signal tower: 4-color
Manual: no
History car: no
Cassette stage: ETC: 12+6 stage
I/O Port: Cassette
Loadlock type: no
Main controller: TS-4000
Vacuum pump: A150W-T
APC type: N2 ballast
Using gas: CDA, P-N2, G-N2, ETC: SiH2Cl2, NH3, N2O
Vacuum trap: no
FTPS: no
Temp. controller type: 120-12
MFC: (6) STEC, (3) MFM
Tweezer VAC no
Tweezer QTY: 5 (4+1)
Variable pitch: yes
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SC est un four à double coque et accessoire, un équipement utilisé dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour offrir un environnement optimal pour le dépôt de différents matériaux sur des plaquettes. Ce four de diffusion offre une large gamme de fonctionnalités à ses utilisateurs, de l'oxydation à haute température à l'implantation de bore à basse température. TEL ALPHA 8 SC dispose d'une grande chambre de pulvérisation en quartz qui offre une excellente uniformité et conductivité thermique pour un traitement plus efficace. Ses systèmes de chauffage à haute puissance à fréquence cyclotron-électron peuvent atteindre des températures allant jusqu'à 1500 ° C Cette unité est équipée de deux pyromètres à faible émission, assurant une surveillance en temps réel des températures au niveau du suscepteur pendant le fonctionnement. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C offre également un système de lots automatisé avec jusqu'à 64 processus qui assurent le contrôle total des processus et la collecte des données. Des mandrins électrostatiques sont également disponibles avec cette machine pour maintenir les plaquettes en place lors des traitements, avec un miroir réglable pour diriger le plasma entrant. Le 8SC intègre la technologie d'échange de gaz à haute vitesse et à haute puissance, qui fournit des profils de recuit de type réseau et la stabilité du processus avec des vitesses de production plus rapides. Afin de faciliter les performances, des systèmes avancés de séparation des ventilateurs empêchent les gaz et les particules épuisés de quitter la zone de travail. Les systèmes de surpression protègent également les plaquettes de la contamination superficielle pendant le fonctionnement. TEL Alpha 8SC est conçu pour offrir une exploitation hautement automatisée et performante. Il utilise un logiciel de démarrage plus rapide et plus fluide, ainsi que des processus de débogage et de mise à niveau plus faciles et plus rapides pour un fonctionnement plus fiable. Le 8SC est également livré avec HyperDrive, une application de télécommande optionnelle pour les utilisateurs qui souhaitent surveiller et contrôler les processus à distance. En résumé, Alpha 8SC est un four de diffusion sophistiqué et une solution accessoire, conçu pour fournir une excellente aptitude au traitement des plaquettes avec une grande efficacité et précision. C'est la solution de pointe pour la fabrication moderne de semi-conducteurs et est sûr d'être un ajout précieux à de nombreuses installations de fabrication.
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