Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9383796 à vendre en France
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ID: 9383796
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Furnace, 8"
Process: ISC-Si3N4
Heater type: VOS-40-017 (400°C - 850°C)
(100) Sheets
Forced air cooling unit
Quartz jig:
(2) 1105-300526-12 Fin hoon tows
1105-301109-12 Honto cover
1105-301109-12 Insulation cylinder cover (CAP-SIN)
(2) 1105-301121-12 GUYCANs
(2) 1105-301122-12 NIKONs
(2) 1105-301123-13 Manifold covers
1105-100420-14 SEKI ABOTO
Pump
Seismic isolation table
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SC est un four à diffusion et un accessoire conçu pour être utilisé dans des procédés de fabrication de semi-conducteurs à grande échelle. L'équipement permet un contrôle précis de la température de la plaquette, des niveaux d'alimentation et de ses propres paramètres de fonctionnement. En tant qu'outil de pointe pour la fabrication de circuits intégrés à haute performance, il peut réaliser un large éventail de procédés, y compris la diffusion multicouche, le recuit et l'oxydation, ainsi que des couches sélectives d'émetteur, de CMP, de recuit à basse température et de redistribution de Cu. TEL ALPHA 8 SC dispose d'une interface tactile conviviale avec un environnement d'exploitation personnalisable. Le système comporte également plusieurs caractéristiques de sécurité, telles qu'une chambre extérieure à double paroi qui ferme automatiquement la turbine et le four en cas de fuite d'hydrogène. Le four est également équipé d'une unité d'autodiagnostic qui permet des opérations d'entretien préventif et permet d'éviter des réparations longues et coûteuses. TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C dispose d'une machine de chauffage bi-zone unique qui permet un traitement efficace des plaquettes délicates et une utilisation optimale de leur surface. Le contrôle de zone est géré par un algorithme de programmation puissant appelé opération split-zone. Cette technologie garantit que la température de la plaquette reste au niveau optimal pour le processus spécifique, tout en minimisant la consommation d'énergie. ALPHA 8S-C offre une vaste gamme d'accessoires, y compris des têtes de douche, des mécanismes de levage/abaissement, des systèmes de contrôle de zone, des supports de transition, des serrures de charge, des élévateurs à galets, des robots, des effecteurs d'extrémité, des capteurs, des pompes et de nombreux autres composants. De plus, l'outil est compatible avec une large gamme de substrats, dont le silicium, l'arséniure de gallium, le cuivre, le titane, le quartz, etc. Les performances de TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC sont assurées par des moteurs avancés tels que la gestion totale des gaz d'échappement, le contrôle des profils d'échappement et le contrôle des zones partagées. Ces caractéristiques offrent un contrôle inégalé de la garniture et la stabilité de la température pour les processus de production des plaquettes. TEL Alpha 8SC offre un fonctionnement fiable, des performances exceptionnelles et un contrôle précis, ce qui en fait un choix idéal pour le traitement à haut volume des semi-conducteurs. Ses fonctionnalités avancées, ses accessoires et son interface conviviale en font un outil indispensable pour la fabrication de semi-conducteurs.
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