Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SD #293776299 à vendre en France
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ID: 293776299
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Furnace, 8"
Process: O2 Anneal, dry oxide
Wafer shape: SNNF
Wafer cassette: Plastic, 8"
(150) Product wafers
Gas capabilities: N2, O2
TS4000Z System controller
(5) Zone heaters
Paddle control thermocouple
Reserved batch operation
Place of control T/C: Between outer tube and inner tube
(5) End effectors
Maximum temperature: 1100°C
No SMIF Interface
No N2 Load lock
No boat rotation
1997 vintage.
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Le four de diffusion Alpha 8SD est un four de diffusion incroyablement fiable et performant pour la production en série dans l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit aux clients une solution puissante et efficace pour le traitement thermique. Ce four de diffusion offrira aux utilisateurs une plus grande cohérence de débit et de débit par rapport à ses prédécesseurs. Il est également spécialement conçu pour manipuler plusieurs tailles de plaquettes de 200mm à 6 pouces sans nécessiter de réglages manuels ou d'arrêts. TEL Alpha 8SD four de diffusion utilise la technologie de traitement thermique de pointe pour la diffusion et l'oxydation jusqu'à 1000 ° C Il a une conception ultra compacte qui lui permet de prendre un minimum d'espace. Cela le rend idéal pour les lignes de production haute densité. Les multiples options de manutention de la taille de la plaquette, permet aux utilisateurs d'augmenter facilement le débit si nécessaire. Le four de diffusion TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-D dispose d'un puissant système de distribution indépendant qui comprend une source dynamique à flux unique. Cela lui permet de gérer facilement des applications à haute température et à forte puissance tout en maintenant des paramètres de processus cohérents. Le système haute performance orienté vers l'arrière assure également une uniformité et un contrôle thermique précis tout au long du processus. Cela permet des délais de traitement plus rapides et de meilleurs résultats. Le four est également livré avec une gamme complète d'éléments chauffants avancés et des options de refroidissement. Le support de plaquettes chauffées directement et le cyclage thermique ultra bas permettent des vitesses de rampe thermique rapides. Les options de refroidissement avancées aident à prévenir la contamination des plaquettes. De plus, les fonctions de contrôle avancées garantissent la répétabilité et une grande précision dans le processus. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-D four de diffusion est également livré avec une mémoire programmable de 50 étapes qui stocke des recettes de processus pour jusqu'à 50 différentes opérations d'application. Il est livré avec un logiciel PC professionnel de suite basé sur Windows pour le développement de processus et le contrôle. L'environnement convivial permet une entrée de recette facile et des processus répétables. Les utilisateurs peuvent également produire des rapports de processus pour la documentation et la traçabilité. En conclusion, le four de diffusion Alpha 8SD de TEL/TOKYO ELECTRON (TEL) est un four de diffusion incroyablement fiable et performant pour la production en série dans l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit aux clients une solution puissante et efficace pour le traitement thermique. Ce four de diffusion fournira aux utilisateurs une cohérence de débit et de débit plus élevée. Avec des fonctionnalités supplémentaires telles qu'une gamme complète d'éléments chauffants avancés et des options de refroidissement, une mémoire programmable et un logiciel PC professionnel basé sur Windows, ce four de diffusion est un excellent choix pour les lignes de production haute densité.
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