Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293817396 à vendre en France
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ID: 293817396
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Furnace, 8"
Process: D-POLY
L-Type system layout
SUS furnace front surface finish
VMM 40-101 heater
N2 load lock
LC750 O2 analyzer
WAVES main controller
Fujikin integrated gas system
Fujikin manual and air-operated valves
UNIT / UFC 1661 Mass Flow Controllers (MFC)
MKS Pressure Transducer (PT) sensors
MKS Digital Pressure Monitor (DPM)
Gas flow chart and operation panels
RIKEN KEIKI gas detector
Auto wafer aligner
Fork wafer presence sensor
Magnetic seal rotation
No process kit or vacuum pump
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z est un four de diffusion spécialement conçu pour offrir des performances de traitement supérieures. Il est capable de produire la meilleure oxydation thermique pour les cellules photovoltaïques de silicium, les substrats et autres procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce four de diffusion de haute qualité et économique est doté de plusieurs caractéristiques essentielles qui le rendent adapté à de nombreuses applications industrielles et de recherche. TEL ALPHA 8SEZ offre des propriétés thermiques supérieures, sa température maximale de fonctionnement atteignant 1150 ° C et sa vitesse de chauffage maximale de 4 ° C/s, permettant des traitements thermiques rapides et de haute qualité. Le four peut fonctionner selon deux modes différents, Batch et Continuous, permettant une flexibilité lors de différentes applications. Le mode batch permet des températures plus uniformes avec des gradients thermiques minimes dans toute la chambre, tandis que le mode continu permet un contrôle précis de la température et un chauffage et un refroidissement rapides en cas de besoin. La conception avancée comprend un chauffe-siliciure à six couches de molybdène capable de fournir une source élevée et une répartition uniforme de la température, et une grande uniformité thermique sur l'ensemble de la chambre. Le four est également équipé d'un chauffe-tube à quartz et d'une chambre en acier inoxydable 304 à double paroi isolée thermiquement pour une résistance supérieure à la corrosion et des performances élevées. Cette conception unique permet de faibles niveaux de contamination tout en assurant d'excellentes performances de transfert de chaleur. Son fonctionnement est facile à gérer grâce à son système d'automatisation en temps réel, qui surveille les conditions de processus du début à la fin. Pour un contrôle précis, TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z dispose d'une boucle de contrôle PID numérique qui surveille en permanence la température et maintient le contrôle dans une plage de précision ± 1 °. De plus, un revêtement protecteur empêche l'oxydation pendant le processus, permettant des résultats de qualité supérieure. TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEZ est également livré avec une variété d'accessoires, tels qu'un moniteur de fenêtre d'observation, un grand contrôle de pression individuel, une navette à échantillon rotatif, et divers porte-échantillons. Tous ces accessoires rendent le four encore plus convivial et efficace pour des applications spéciales de recherche et industrielles. Ce four de diffusion se distingue par sa conception avancée, sa flexibilité, son contrôle précis de la température et ses multiples accessoires supplémentaires. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z est une solution idéale pour les cellules photovoltaïques en silicium, les substrats et autres procédés de fabrication de semi-conducteurs.
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