Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #9186048 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z est un four à diffusion et des accessoires spécialement conçus pour le traitement et la fabrication des plaquettes semi-conductrices. C'est un système de référence autonome capable de traiter des plaquettes de 8 pouces (200mm) du début à la fin. L'unité est conçue pour assurer un transport de masse supérieur, des températures de processus uniformes et des temps de tournage plus rapides. TEL ALPHA 8SEZ est équipé d'une chambre de four tout aluminium, basse masse thermique et faible conductivité thermique. Cette chambre offre une répétabilité maximale et un contrôle de température serré. Une machine de contrôle de gaz à double zone avec un débitmètre numérique de haute précision est intégrée pour fournir du gaz de haute pureté pour les opérations de four. L'outil dispose également d'une paroi froide en quartz avec une buse réglable pour le préchauffage et le chauffage vac. La buse est réglable pour accueillir différentes tailles de plaquettes et atteindre un contrôle précis de la température. TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z est spécialement conçu pour traiter des plaquettes de 8 "(200 mm) avec une répétabilité et un contrôle maximums. L'actif est capable de fritter, recuit, traitement thermique rapide, formation d'oxyde, et d'autres processus. Un modèle de chargement et de déchargement supérieur est automatisé pour assurer une manipulation rapide des plaquettes avec une intervention minimale de l'opérateur. La chambre de procédé est isolée du contrôleur et les piles de procédé sont équipées de doubles joints d'étanchéité pour empêcher l'intrusion de contaminants ambiants. TEL Alpha 8SE-Z prend en charge l'intégration de plusieurs accessoires et composants tiers reliant l'équipement principal. Il est compatible avec la surveillance in situ du processus TEL par spectroscopie (PMX). Il est également compatible avec TIM (Thermal Imaging Module) pour la visualisation de la température de l'échantillon et de la zone de traitement. Le système peut être configuré pour automatiser le processus de dépôt à l'aide. Il est également compatible avec les systèmes CVD et PVD pour permettre des étapes de processus supplémentaires telles que l'addition de dopants, l'oxydation des dopants et l'oxydation des surfaces. Pour assurer un fonctionnement optimal, TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z est équipé d'un ensemble complet de paramètres de processus qui peuvent être programmés avec une interface écran tactile. Les paramètres du processus sont entièrement modifiables et l'unité est compatible avec plusieurs systèmes statistiques de contrôle des processus. La machine fonctionne sur un logiciel qui intègre une interface conviviale et moderne avec de grands graphismes et des fonctionnalités intuitives. La sauvegarde et l'enregistrement des outils sont également intégrés pour la sécurité et la traçabilité des données. TEL ALPHA 8 SE Z est un four de diffusion fiable, efficace et moderne avec des caractéristiques avancées et des accessoires pour le traitement et la fabrication des plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour offrir une répétabilité élevée, des températures de processus uniformes et un retournement rapide des plaquettes à un prix compétitif.