Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #9395874 à vendre en France
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ID: 9395874
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
CVD Furnace, 8"
Process: Co-SiN Low pressure CVD
Wafer shape: Notch
Wafer cassette: Plastic miraial, 8"
SMIF Interface
Cassette I/O Port / SMIF
Cassette transfer
(12) Cassette stockers
(9) Cassette stockers: I/O Side
Boat elevator: Cap rotation
Wafer transfer: 1 + 4 Pitch conversion
Pass box transfer stage
Auto shutter: Full close
Furnace body:
Heater chamber: VMM-40-101, 500 - 1000℃
Furnace stand: N2 L/L
Water cooling piping
Scavenger
Cable duct
Gas system:
Gas unit: SiN
Vacuum piping
Temperature controller unit
Analyzer unit: N2 L / L O2 Thermometer
N2 Purge box: Half size F/Box
MFC:
FC-786Y-B-TC: N2 20SLM
FC-786Y-B-TC: N2 5SLM
FC-786Y-B-TC: N2 1SLM
FC-985Y-B1: NH3 2SLM
FC-985Y-B1: SiH2Cl2, 200SCCM
SEC-7340RC-204-4CR: N2 10SLM
PCV-1000-3C
FC-772C-6V: N2 200SLM
MFM: FM-865-B1-TC: SiH2Cl2 200SCCM
FM:
FM1/2: P-821-4A-6F-V2-M-N2-30L-2M
FM3: P-821-30-6F-V2-M-N2-10L-K1.0
P-510-LO-6N-S3-N2-200L
P-510-LO-6N-S3-N2-100L
P-823-40-6F-S2-S-N2-60L-SP
Control system:
WAVES
M560 Temperature controller
Gas flow chart panel with remote
Man machine interface with remote
Signal tower
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z est un four de diffusion et des accessoires pour divers procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce four de diffusion est un four entièrement automatisé à haute température alimenté au gaz conçu pour fournir un contrôle précis de la température et de l'uniformité. La structure thermique avancée fournit des répartitions de température uniformes sur toute la zone de chauffage pour obtenir des résultats homogènes et précis. La plage de température de TEL ALPHA 8SEZ est comprise entre 300 ° C et 1350 ° C avec une variation maximale de température ± 4 ° C Ce four est conçu pour un chauffage uniforme sur toute la tranche verticale du substrat semi-conducteur à l'aide d'un réseau d'éléments chauffants. Le four est équipé de plusieurs caractéristiques telles qu'une conception thermique innovante, un équipement d'alimentation en gaz performant, un système de contrôle avancé et un équipement périphérique sur mesure. Ces caractéristiques contribuent au haut débit et à la répétabilité du four. L'unité d'alimentation en gaz est conçue pour assurer un mélange optimisé des gaz et une réduction du choc thermique sur les éléments chauffés dû aux changements rapides de composition des gaz. Cela rend TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z idéal pour une variété de processus thermiques allant du recuit à la diffusion. Une machine de commande avancée permet un contrôle précis de la température avec une synchronisation entre les phases de chauffage et de refroidissement. L'outil de contrôle peut également être personnalisé pour les besoins spécifiques de l'utilisateur, tels que l'ajustement automatisé des processus et l'optimisation des recettes. L'équipement périphérique sur mesure permet une intégration rapide et facile du four dans les lignes de production existantes. Outre ses performances thermiques exceptionnelles, Alpha 8SE-Z est conçu pour répondre aux normes de sécurité avec plusieurs systèmes de sécurité intégrés et une structure anti-explosion. Il est également équipé d'une cage Faraday intégrée, d'une unité de mesure de la résistance (RMU) et d'un capteur à noyau magnétique (MSC) pour protéger la micropuce contre les interférences magnétiques externes. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Z est un four de diffusion de pointe conçu pour fournir un contrôle précis de la température et une uniformité pour divers procédés de semi-conducteurs. Avec ses hautes performances, ses normes de sécurité et ses accessoires intégrés, ALPHA-8SE-Z est un excellent choix pour toute installation de fabrication de semi-conducteurs à la recherche de produits de four de diffusion fiables.
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