Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS #293590991 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS
ID: 293590991
Style Vintage: 2001
Furnace 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS est un équipement très avancé et fiable de four de diffusion avec une variété d'accessoires pour améliorer les performances et la fiabilité. Le système est construit avec un robot avancé de transfert de plaquettes pour une homogénéité et un contrôle de distorsion supérieurs, ce qui en fait l'une des meilleures solutions pour les processus avancés de plaquettes. TEL Alpha 8SE-ZVANS utilise un four de diffusion à rayonnement α configuré horizontalement pour une uniformité et une précision supérieures. Il présente un profil de température uniforme sur chaque tranche, avec une température centrale de 1 200 degrés Celsius et une uniformité de température ± 2 ° C sur une plage de 200 mm. De plus, l'uniformité de température de TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS peut être réglée automatiquement par son unité de commande avancée. La machine dispose également d'un générateur de gaz oxyde intégré (BOGG) qui permet d'améliorer la répétabilité et la précision des processus de dépôt d'oxyde. La source de plasma basse pression du BOGG permet un contrôle précis des paramètres d'oxydation, ce qui en fait un atout inestimable pour améliorer la qualité des oxydes sol-gel et CVD. Alpha 8SE-ZVANS dispose également d'une plaque chaude et d'une plaque de chauffage/refroidissement rapide qui permet une plus grande uniformité lors du traitement du substrat en silicium. En plus de son four de diffusion leader dans l'industrie, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS est livré avec une variété d'accessoires sur mesure pour un meilleur fonctionnement de l'outil. Il est livré avec plusieurs dispositifs de manutention de plaquettes qui fournissent un contrôle d'actifs supérieur tels que le bras de roulement AC pour le positionnement précis des plaquettes, le chargeur Wafer pour les insertions automatiques, et le robot ECF-Front pour la manutention jusqu'à huit plaquettes à la fois. Enfin, le modèle est également équipé de solutions logicielles de pointe pour améliorer la surveillance des équipements matériels. Ces solutions comprennent la suite AioSoft DB et le système d'analyse Aptio qui fournissent une analyse en temps réel et des informations pertinentes sur les plaquettes telles que la régulation de la température, l'uniformité et les paramètres de performance globale. Dans l'ensemble, TEL Alpha 8SE-ZVANS est une unité de four de diffusion très efficace, fiable et précise avec toutes les caractéristiques nécessaires et des accessoires intégrés pour assurer des performances supérieures. Avec une homogénéité de température supérieure, un générateur de gaz avancé, une plaque chaude et d'autres accessoires uniques, TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS est la solution idéale pour les processus avancés de plaquettes.
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