Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #122705 à vendre en France
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Vendu
ID: 122705
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2007
Thermal process furnace, 8"
Flat type wafer
Signal tower: (4) color
I/O type
Rapid cooling unit
Capacity: (125) wafers per batch
Controller
Waves V3.23 R001 (D01FFF-000F)
(2) HDD: 4.3 GB
TEB 408 HDMC Rev 2.0B
SVA 041
TEB 107 ECS5
DVE P750/51-TR
TEB 103 FPIF
Temperature controller: 560A
Pressure controller: CKD
WVG controller: WVG-SC-010Y1B2B
Vacuum pump: Ebara A150W-T
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE est un four de diffusion et un accessoire conçu pour faciliter les processus thermiques avancés avec des capacités de traitement et de transport consolidées. Sa conception prend en charge une gamme d'applications telles que le Power-MOS, les dispositifs d'alimentation dédiés et le BiCMOS ainsi que les emballages à haute température. TEL ALPHA-8SE se distingue parmi les fours de diffusion pour son équipement de transfert de plaquettes sous vide, ce qui permet de transférer des plaquettes d'une chambre d'isolation de flux laminaire dans la chambre de procédé d'un four de diffusion. Ceci assure une propreté maximale et un contrôle environnemental pendant le processus de diffusion. Le système de transfert facilite également la manipulation des plaquettes sans avoir à ouvrir la porte ou les exposer à une éventuelle contamination. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE dispose également d'un contrôleur de processus numérique haute performance et multifonctions. Ce contrôleur permet un contrôle précis de la température et de la pression dans la chambre de diffusion et la programmation de procédés complexes. Le contrôleur peut balayer la température et la pression à des vitesses différentes, permettant de définir une variété de paramètres de processus, de la base à la plus compliquée. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE a une fonction unique de refoulement des gaz de réaction à basse pression qui assure une livraison sûre et précise des réactifs gazeux. Ceci permet également de s'assurer que le processus de diffusion est maintenu dans un profil très étroit et uniforme et que les réactifs ne diffusent pas partiellement sur la surface de l'échantillon à haute pression. Cela fait de TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E un instrument idéal pour les procédés thermiques avancés. ALPHA-8 SE se réalise également dans une unité de contrôle intégrée. Cette machine permet à l'utilisateur de programmer des processus complexes et des profils de température et de pression prédéfinis. De plus, cet outil de contrôle intégré est responsable de la surveillance des échantillons, de la surveillance du gaz, de la surveillance de la sécurité, ainsi que de l'entretien préventif et de l'entretien de l'actif du four. Ceci garantit une efficacité et une fiabilité maximales du four de diffusion TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E. Grâce à sa conception et sa construction, le four de diffusion Alpha 8SE a la capacité d'effectuer des processus thermiques avec une contamination minimale, et à un niveau élevé de répétabilité et de fiabilité. Cela en fait un choix idéal pour les procédés thermiques avancés et la recherche. De plus, TEL ALPHA 8 SE combine de façon unique les caractéristiques de régulation de température de haute précision, de distribution de gaz de réaction à haute pression et d'intégration flexible avec différents types d'outils de procédé.
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