Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #144248 à vendre en France
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Vendu
ID: 144248
LPCVD LP-BSG TEOS furnace, 8"
Flat / notch type: Notch
Signal tower: 3 color (RYG)
SMIF or I/O type: I/O type
AGV compatibility: Not use
Rapid cooling unit: Not use
Load lock system: Not use
Production wafer quantity: 150
Controller and software:
HD version: WAVES V3.11 R0008
HDD capacity: 4.3 GB
TEB 408-11 HDMC
SVA 031
TEB 107 ECS5
M/C TEB 205
TEB 103 FPIF
Configuration: Alpha-8SE
Power: (phase, voltage, frequency)
Heater power: 3 phase, 50/60 Hz 440V
Controller power: 1 phase, 50/60 Hz 100V
Pump power: 3 phase, 50/60 Hz 440V
MFC flow:
MFC1: STEC N2, 20 SLM
MFC2: STEC N2, 200 SCCM
MFC3: STEC TEOS, 300 SCCM
MFC4: STEC N2, 5 SLM
MFC5: SAM CLF3, 5 SLM
MFC6: STEC TMB, 300 SCCM
Heater model: VMM 40-101
Vacuum control: EBARA 150x40UERP6M-D
Controller specifications:
Main controller: WAVES
Temperature controller: Model 560A
Pressure controller: PCU1000 (PCV control)
Mecha controller: T-Bawl
Burn controller: None
MFC controller: None
Powered off
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE est un four de diffusion avancé et un équipement accessoire conçu pour fournir une fabrication de haute qualité de semi-conducteurs. Ce système se compose d'une chambre à quartz, d'un bateau à plaquettes, d'un bocal et d'un ensemble auto-élévateur résistant à la chaleur qui place le bateau à plaquettes dans la chambre. Sa chambre à quartz est conçue pour assurer une uniformité thermique et énergétique étroite, tandis que la cloche permet des conditions de travail ultra propres. L'ensemble auto-lift assure un accès facile au bateau de plaquette à l'intérieur de la chambre à quartz et un positionnement précis avec un minimum de contraintes. Le four TEL ALPHA-8SE est également doté d'un chauffage à film épais à haute endurance. Ce chauffage peut fournir jusqu'à 500 watts de puissance et jusqu'à 150 watts/cm2 d'énergie de recuit. Il offre également une large gamme de températures allant de 25 ° C à 1200 ° C Le contrôle précis de la chaleur est rendu possible par son unité de contrôle de température intégrée, et son suscepteur Graphite assure une homogénéité précise. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE est également livré avec d'excellentes capacités de contrôle environnemental. Il est compatible avec une gamme d'air ambiant, d'air sec et d'autres gaz, et a une conception sans filtre pour améliorer les exigences environnementales. En outre, il dispose d'un mur et d'un toit de haute pureté, d'options à basse pression et d'autres capacités avancées de dépôt en phase vapeur de BPSG et de produits chimiques. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE est également livré avec une large gamme de fonctionnalités opérationnelles. Cela comprend une machine d'entraînement électrique intégrée avec commande intuitive joystick, une commande logique programmable de bord maître, et un outil de saisie de données à écran tactile. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E dispose d'un atout avancé en matière d'efficacité énergétique, d'un modèle de rampe de température indépendant et d'une bibliothèque de recettes améliorée. Dans l'ensemble, le four de diffusion TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE et son équipement accessoire sont conçus pour fournir une fabrication de haute qualité de dispositifs semi-conducteurs tout en permettant aux fabricants de maintenir une efficacité énergétique et une compatibilité environnementale élevées. Sa gamme de caractéristiques et de capacités opérationnelles assure un contrôle précis et d'excellentes performances avec un minimum de déchets chimiques et de coûts opérationnels.
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