Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #168532 à vendre en France
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Vendu
ID: 168532
LPCVD furnace, 8"
Wafer size: 8"
Flat / notch type: Flat
Signal tower: 3 color (RYG)
SMIF or I/O type: I/O type
AGV compatibility: Not use
Rapid cooling unit: Not use
Load lock system: Use
Production wafer quantity: 150
Controller and software:
HD version: V3.11
HDD capacity: Waves V3.11 R0000
TEB 408-11 HDMC
SVA 011
TEB 107 ECS5
M/C TEB 205
TEB 103 FPIF
Power: (phase, voltage, frequency)
Heater power: 3 phase, 208V, 35.6 Kva
Controller power: 1 phase, 208V, 5.5 Kva
MFC flow:
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 20 SLM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 10 SLM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 10 SLM
MFC1: AREA TC FC D985Y-BF, SiH4 100 SCCM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2O 5 SLM
MFM1: AREA TC FM 865Y, SiH4 100 SCCM
Heater model: VMM 40-101
Vacuum controls:
APC (CKD) control: VEC-S8-X0201
Controller specifications:
Main controller: WAVES
Temperature controller: Alpha 8SE-C
Pressure controller: None
Mecha controller: None
Burn controller: None
MFC controller: None.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE est un four à diffusion haute fréquence polyvalent utilisé pour le traitement des semi-conducteurs et d'autres techniques de fabrication. Il dispose d'un tube interne en quartz, avec un contrôle précis de la température et un chauffage uniforme, qui permet un contrôle précis des paramètres de traitement. Le tube à quartz est entouré d'un écran à gaz rempli d'azote, offrant une atmosphère inerte et une isolation thermique supérieure. Le four est équipé d'un équipement de contrôle de fréquence précis, spécialement conçu pour assurer un contrôle précis de la température. Ce système élimine la nécessité de réglages manuels fréquents, permettant des temps de chauffage répétables et des conditions d'équilibre. L'unité dispose également d'une machine de contrôle de rapport de puissance qui fournit une haute vitesse et un contrôle de température précis pour une distribution de chaleur uniforme. TEL ALPHA-8SE est équipé d'un outil de chargement d'échantillons et d'une station de chargement/déchargement intégrée. Il permet de charger jusqu'à huit plaquettes ou substrats à proximité à tout moment. De plus, la conception de l'actif de chargement de l'échantillon assure que l'alignement optomécanique de fabrication est maintenu pendant le chargement, le déchargement et la manutention. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE offre également un haut niveau de contrôle sur le cycle de diffusion. Il permet un contrôle précis des rampes de température, des profils de densité temporelle et de la détection du point de fin de cycle. Pour les applications à forte charge, il est équipé d'un modèle de récupération rapide qui assure la modulation marche/arrêt des chauffages pour limiter les variations cycle-à-cycle. La fonction d'automatisation d'ALPHA 8S-E offre une interface utilisateur graphique facile à utiliser, avec une suite d'outils de suivi des processus. L'équipement surveille également jusqu'à 1200 paramètres de processus, permettant un contrôle avancé du processus et une traçabilité complète du processus de fabrication. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE propose également plusieurs accessoires avancés, tels qu'un obturateur motorisé pour la purge à l'azote et un filtre à gaz sec pour le lavage/séparation des gaz inertes. Le système de diffusion ALPHA 8 SE offre également une unité avancée de réduction des effluents conforme aux normes SEMI S8 et ISO14644-1. Cela garantit que l'air émis est maintenu à des niveaux sûrs et respectueux de l'environnement. Le four est également conçu pour être robuste, fiable et efficace, avec une gamme d'options pour répondre aux besoins des clients.
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