Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9065751 à vendre en France
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Vendu
ID: 9065751
Taille de la plaquette: 8"
Doped poly furnace, 8"
System layout type
System hand LL
Side maintenance no
System paint color white
Furnace front surface finish SUS polished #600
Process pressure 500 mTorr
Process temperature 620C
Mid temp VMM-40-101, 5 zone
NGK SH-302
Non SMIF
Process gases
Process gas 1 Pure N2
Process gas 2 SiH4
Process gas 3 5% PH3/N2
Process gas 4 0.5% PH3/N2
(4) Heater chambers
CE Marked
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE est un four de diffusion spécialement conçu pour fournir des quantités précises de silicium et d'autres matériaux semi-conducteurs. Ce four à 8 chambres dispose d'un contrôle indépendant de la température et du gaz dans chaque chambre, permettant un contrôle précis du débit de gaz et la production en masse de matériaux semi-conducteurs de haute qualité. La puissance nominale de chaque chambre est 600W et peut supporter des températures allant jusqu'à 1150 ° C TEL ALPHA-8SE est livré avec un certain nombre d'accessoires qui permettent à l'utilisateur de personnaliser leur configuration pour répondre au mieux à leurs besoins. Cela comprend un tube en quartz, des anneaux d'isolement et un convoyeur à mailles pour supporter une variété de tailles de plaquettes. De plus, TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE dispose d'un équipement de contrôle de température et de gaz PID contrôlé par PC qui permet une surveillance facile et un réglage précis de la température. D'autres caractéristiques incluent une uniformité de température supérieure à ± 1 ° C et des capacités de communication avec des périphériques utilisant le protocole Ethernet. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E comprend également sa propre pompe à vide pour assurer des niveaux de vide adéquats pour votre processus. Ce système de vide se compose d'une micro-pompe moléculaire à un étage, d'une jauge de vide et d'un servomoteur à vide pour augmenter la puissance de pompage. Avec une vitesse de pompage de 100 litres/min, cette pompe à vide est capable d'évacuer rapidement l'unité. Outre les fonctionnalités de base, TOKYO ELECTRON Alpha 8SE est capable d'offrir de nombreuses fonctions spécialisées pour améliorer l'expérience utilisateur. Par exemple, il a un contrôleur de recettes avancé qui vous permet de stocker jusqu'à 20 recettes différentes que vous pouvez appeler en un seul clic. Il dispose également d'une machine de nettoyage automatique qui aide à réduire les temps d'arrêt et d'un outil de surveillance de l'énergie qui peut aider à économiser l'énergie. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE est un excellent choix pour tous ceux qui ont besoin d'un contrôle précis des températures et des flux de gaz pour leurs matériaux semi-conducteurs. Avec sa puissance et ses fonctionnalités innovantes, il n'est pas étonnant pourquoi ce four de diffusion et l'ensemble d'accessoires est si populaire.
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