Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9216087 à vendre en France
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Vendu
ID: 9216087
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
PIQ System, 8"
General:
Heater type: VMM-40-101
SMIF / IO: Open cassette type
Process gasses:
Gas 1: MFC1 - N2 (20SLM)
Gas 2: MFC2 - N2 (30SLM)
Gas 3: MFC3 - N2 (3SLM)
Gas 4: MFC4 - O2 (10SLM)
Gas 5: MFC5 - SiH4 (200SCCM)
Gas 6: MFC6 - SiH4 (200SCCM)
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Elctro-polished
Manual valve: FUJIKIN
Air operated valve: FUJIKIN
MFC: AERA
Wafer / Cassette handling
Wafer type: 200mm SEMI STD-Notch
(5) Fork types / Materials
Fork variable pitch
Cassette:
Type: Entergris / XT200-01E
(25) Wafers
(21) Storage cassettes
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Boat rotation
System controls:
TS-4000Z
Signal tower colors: G/R/A
General pressure display: Mpa
Cabinet exhaust display: Kpa
Furnace temperature controller: M121
Host communications:
Host computer
Host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U / Box top
Group controller: JGA
Power:
Heater: 208 V, 3 Phase, 31.6 KVA
Voltage: 208 V, 1 Phase: 2.3 KVA
Pump: 208 V, 3 phase: 12.4 KVA
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE est un four de diffusion monobloc à haute température et des accessoires spécialement conçus pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. TEL ALPHA-8SE est un four de production entièrement automatisé conçu pour répondre aux exigences exigeantes des fabricants de semi-conducteurs modernes. Il dispose de contrôles à huit zones qui permettent un contrôle précis de la température et de l'atmosphère dans chaque zone et assure également des températures uniformes tout au long du processus. Chacune des huit zones est équipée d'une puissance de chauffage réglable individuellement pour accueillir des pièces de différentes tailles. La température de la zone chaude de TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE peut être élevée jusqu'à 1250 ° C, ce qui lui permet d'accueillir plus de processus de diffusion à haute température. ALPHA 8 SE est également équipé d'un capteur de position thermocouple qui permet un contrôle précis de la température. Le capteur surveille la température de chaque pièce pour une répartition uniforme de la température. Cette technologie de pointe permet d'obtenir des performances et une fiabilité supérieures dans le processus de diffusion. Pour un maximum de sécurité et de commodité, ALPHA 8 S E dispose d'un moniteur de pression interne, qui permet une surveillance continue de la pression de l'atmosphère du processus. TEL ALPHA 8 S E dispose également d'un contrôle automatisé du débit de gaz pour permettre des débits d'atmosphère réglables afin d'assurer une répartition uniforme de la température. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E offre une surveillance à distance des processus, un système d'interception sophistiqué, une protection contre les températures excessives et une saisie conviviale des données du programme de processus. ALPHA 8S-E est compatible avec une large gamme de gaz spéciaux de qualité semi-conducteur et dispose de capacités automatiques de purge et de rinçage des conduites de gaz. Il est également facile à entretenir grâce à son enceinte étanche, à l'amélioration des systèmes d'écoulement des gaz et à l'évacuation automatique des condensats. En utilisant Alpha 8SE, les fabricants de semi-conducteurs sont en mesure de produire des plaquettes très précises et fiables. C'est un choix durable, fiable et efficace pour les procédés semi-conducteurs qui nécessitent un contrôle précis de la température et de l'atmosphère.
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