Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9253985 à vendre en France

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ID: 9253985
Taille de la plaquette: 8"
Vertical furnace, 8" Process: Nitride WAVES Display for PDU unit Furnace: WAVES 3.11 Controller CKD Pressure controller M560 Temp controller VMM-40-101 Heater (5) Control zones IGS Gas pattern panel PDU Unit R-Axis NOMARL ETC AERA MFC MKS Baratron Pressure controller: MKS Baratron Sensor BS1 MKS Baratron Sensor BS2 N.C Pressure gauge N.C Pressure gauge controller CKD Pressure control N.C Main valve Loading system: Transfer fork: 4+1 (21) Upper stages (2) Transfer stages Flat zone aligner Wafer counter sensor Power supply: Heater power: 440 V Control power: 208 V.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE est un four de diffusion de dispositifs semi-conducteurs et des accessoires conçus pour fournir des solutions de production pour dispositifs reliés. TEL ALPHA-8SE est un four incroyablement durable et polyvalent capable de réaliser une variété de procédés complexes de fabrication et d'assemblage. En tant que tel, il peut être utilisé dans diverses applications industrielles, surtout dans les secteurs des composants semi-conducteurs et de l'assemblage de dispositifs. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE dispose d'une chambre en acier inoxydable avec des garnitures en céramique, permettant un contrôle précis de la température avec uniformité et répétabilité. Ceci permet d'éliminer les variations de température pour la fabrication et la fabrication précises de composants sensibles à la température. La plage de température de ALPHA-8 SE est de 200 ° C à 1 000 ° C et est conçue pour un contrôle précis de la température et un contrôle précis de l'oxydation. Le four présente également une excellente homogénéité interne, délivrant des températures constantes dans toute sa chambre. Ceci est réalisé avec sa conception circulaire de tête de douche et la quantité précise de flux de gaz. A l'intérieur ALPHA-8SE, un système précis de gaz à 12 zones assure uniformité et répétabilité dans tous les processus grâce à un mélange approprié de gaz. Ce four est capable de nombreux procédés associés à l'assemblage de composants semi-conducteurs. ALPHA 8 S E peut être utilisé dans les procédés de recuit, d'oxydation et de réduction, ainsi que dans les procédés de gravure et de diffusion dopante. Il soutient également des processus tels que le dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (CVD), la diffusion d'oxygène, d'oxyde sulfureux et d'oxyde d'azote, ainsi que la gravure humide, l'oxydation thermique et la nitridation. TEL ALPHA 8S-E fonctionne à l'aide de son logiciel propriétaire de contrôle des processus, permettant un contrôle précis et cohérent de divers paramètres. Ce programme permet de configurer et d'ajuster facilement tous les paramètres du processus et les valeurs de contrôle avec des modes experts qui permettent aux opérateurs de mener jusqu'à quatre processus en un seul cycle. Conçu avec la plus grande attention à la sécurité et la fiabilité, TEL ALPHA 8 SE est un four de diffusion intuitif et efficace pour la fabrication et l'assemblage de composants semi-conducteurs. Avec son homogénéité de température précise, sa répétabilité et ses diverses capacités de traitement, ce four peut aider à assurer la production rapide et précise de dispositifs reliés.
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