Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9260381 à vendre en France
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Vendu
ID: 9260381
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2016
Furnace, 6"
Process: HTO / TEOS
Deep bay layout
I-Type furnace and UP/box
Furnace cabinets and Ultra-clean air flow system
Scavenger and water cooling unit
Main controller (WAVES)
Cassette and wafer handling automation:
Boat elevator
Wafer counter
SiC Wafer flat alignment, 6" (On I/O port)
Cassette storage: 21
Gas system for DCS: HTO / TEOS Process
Exhaust configuration: LP-CVD DCS-HTO, TEOS
Mid temperature heater: 8" Heating element
N2 Load lock system
Maintenance jig
UPS
Ingenuity connection
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Le four à diffusion alpha 8SE est un équipement de fabrication de semi-conducteurs de pointe utilisé pour la fabrication et le contrôle de matériaux et dispositifs semi-conducteurs. Le four est conçu pour un large éventail de processus de diffusion critiques et variés qui nécessitent un contrôle précis de la température et de l'atmosphère. Cet équipement de pointe est idéal pour l'expérimentation et la production de composants semi-conducteurs en raison de sa capacité à traiter uniformément des plaquettes de différentes tailles et formes et de sa répétabilité supérieure. Le four est construit à l'aide d'une paire de chambres en acier inoxydable étanches, chacune avec sa température et son atmosphère indépendantes. Cela permet un traitement uniforme de plusieurs substrats au sein d'un même procédé tout en maintenant un contrôle total des températures de diffusion. A l'intérieur de la chambre, une paire de bobines inductives est capable de chauffer précisément les plaquettes à un niveau de température désiré et de maintenir un environnement de diffusion stable. L'environnement peut être entretenu soit par l'atmosphère ambiante, soit par un gaz inerte, selon le type de processus de diffusion en cours. Le four dispose d'un système de commande intégré qui permet aux opérateurs de régler point à point la température à l'intérieur de la chambre pour chaque plaquette pour une précision accrue. Les opérateurs peuvent également programmer le profil de température pour se déplacer avec la température de diffusion, ce qui permet un résultat uniforme et répétable. Le matériau isolant de haute qualité utilisé dans le four permet non seulement de réduire la perte de chaleur, mais aussi de maintenir la stabilité et l'uniformité de la température dans toute la chambre. En plus de ses caractéristiques hautes performances, TEL ALPHA-8SE est livré avec une gamme d'accessoires pour améliorer encore ses capacités à répondre aux besoins des clients. Il s'agit notamment d'un système automatisé de chargement et de déchargement, d'une source d'azote et d'un chargeur numérique. Ce four de diffusion est adapté à une large gamme de procédés de diffusion allant des applications à basse température aux procédés à haute température. Le four de diffusion TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE est un outil puissant et polyvalent pour la fabrication et l'essai de composants semi-conducteurs. Sa conception ultramoderne garantit que les résultats de la plus haute qualité sont produits de manière cohérente et fiable avec un contrôle total de la température et de l'atmosphère. La gamme d'accessoires disponible pour cet appareil permet une personnalisation plus poussée, ce qui en fait un choix idéal pour ceux qui travaillent dans l'industrie et la recherche.
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