Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #93405 à vendre en France
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Vendu
ID: 93405
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2002
APCVD furnace, 8"
Heater Model/Part No: VOS-40-017
Process: PIX Cure
Software Version: WAVE Controller
System Power Rating: 110AC One Phase / 208 AC
Loading Configuration 4 Loader
N2 LL
150 Wafer Load
Main System:
WAVES Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
21 Cassette Stocker
Temperature Controller (M560)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility&Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
O2 Detector
Auto Shutter
Gas System (SiH4,CLF3,5%PH3,O2,N2,)
Options:
Signal Tower
Pitch Change Mechanism
UPS
GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control:
Quartz ware
Load lock purge system
Process gas O2,N2,
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - Fujikin
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - Fujikin
Filter - Millipore
Regulator - Veriflo
MFC - Aera
Pressure transducer - Millipore or NAGANO
Remote Components:
UTILITY BOX x1. Power Rating: 110/208AC
RCU cabinet x1 Power Rating: 110/208V
UPS x1. Power Rating: 110AC-1
Crated in a warehouse
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE est un four et un accessoire de diffusion qui assure une production à haut rendement et à faible coût de composants électroniques. Il peut être intégré dans les lignes de production existantes et est facile à utiliser avec sa technologie de chargement automatisé, de régulation de température et d'équipement fermé. Le four utilise un système fermé de distribution de gaz et est construit avec une puissante unité verticale et horizontale de distribution de gaz, lui donnant une température maximale de 1600 ° C En raison de la construction robuste de TEL ALPHA-8SE, il a un cycle de vie très long et est adapté pour effectuer de longues tâches qui nécessitent des températures élevées. Le four peut également fonctionner dans un environnement de volume élevé car il peut contenir jusqu'à 10 sources de gaz simultanément. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE contient également une machine de refroidissement à l'eau qui permet une utilisation sûre dans des environnements humides ou humides. Cet outil permet également d'assurer des températures stables pour un refroidissement et une distribution de chaleur plus rapides. De plus, il peut atteindre un taux de fuite maximal de 0,5 % avec de l'azote pur, empêchant l'oxydation des produits finis. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E est équipé d'un ensemble unique de commandes variables qui sont facilement ajustables d'une seule touche, permettant aux opérateurs d'ajuster les réglages en fonction des différents besoins de production. Le four a également d'autres options telles que le contrôle de la température multi-zones, le débit variable de gaz et une fonction de contrôle pré-paiement pour aider à la production systématique. TEL Alpha 8SE est un atout efficace et fiable pour la production de haut volume. Avec sa technologie de chargement automatisé, de régulation de température et de modèle fermé, ALPHA-8SE est le choix idéal pour tous ceux qui recherchent un four de diffusion complet et une solution accessoire pour leur prochaine ligne de production.
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