Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi #293817034 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi
ID: 293817034
FTP-SiN furnace N2 Load Lock Maintenance fixture 
 Temperature Profile Jig Inner Tube Installation Jig Fork Pitch Gauge HCT Heater Installation Jig CKD Comb-Valve Maintenance Jig Tube Cart Single T/C and extension cable Auto profile T/C IGS Maintenance Jig Safety Guard Fixture for back door Backdoor Remover Base Unit for FTP-SiN Process Cabinets/Units/Controllers 
 Furnace Cabinet(I-Type Deep Bay), Built in SMIF I/O Power Supply Unit, Control Unit:3-ph 480VAC, 1-ph 120VAC. Main Controller (WAVES) 
 Temperature Controller (Model 560) 
 Heater Type VOS-40-017 500-1000C (FTP Heater) Rapid Cooling Unit Cassette and Wafer Handling Automation Auto Tube Shutter 
 Boat Elevator with Rotation Function Boat Elevator CAP for Q'z process tube Wafer Load Automation 
 (25) Wafers/6" Conversion Cassette (21) Cassette Loading Automation Cassette model: Entegris KXTC150-0 200-97C02 SMIF POD Model: Entegris M200-5114 6" Si/Glass Wafer Handling Capability SiN Process: Integrated Gas System for F-Poly Process (2) NH3 Gas Line (with N2 purge line) (1) DCS Gas Line (with N2 purge line) 
 (3) N2 Gas Line (2) Pure N2 Gas Line (1) N2 line for boat rotation.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi est un four de diffusion de pointe spécialement conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs de haute performance. Cet équipement de pointe intègre une technologie de pointe pour fournir des résultats précis et fiables pour les applications de dopage et de recuit dans l'industrie des semi-conducteurs. TEL Alpha 8SEi fait partie de la célèbre série de fours de diffusion TEL, connus pour leurs performances et leur fiabilité inégalées dans le traitement des semi-conducteurs. Au cœur du système TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi se trouve sa conception robuste et innovante, conçue pour répondre aux exigences exigeantes de la fabrication moderne de semi-conducteurs. La chambre du four est construite à partir de matériaux de haute pureté pour assurer une stabilité thermique supérieure et la propreté du procédé. Cette conception optimisée permet une répartition uniforme de la température et un débit de gaz contrôlé à l'intérieur de la chambre, permettant un contrôle précis du processus et des profils de dopage cohérents sur la surface de la plaquette. Alpha 8SEi dispose de mécanismes évolués de chauffage et de refroidissement qui permettent un rallumage thermique rapide et un contrôle précis de la température tout au long du cycle de processus. Cette capacité est essentielle pour réaliser des profils précis d'activation et de recuit de dopants dans les dispositifs semi-conducteurs. L'unité est équipée de plusieurs zones de chauffage et d'injecteurs de gaz pour adapter les conditions thermiques aux exigences spécifiques du processus, garantissant des performances optimales et une flexibilité pour un large éventail d'applications. Outre ses performances thermiques supérieures, le four TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi intègre une gamme de caractéristiques avancées pour améliorer l'efficacité et la fiabilité des procédés. La machine est équipée de systèmes de contrôle précis du débit de gaz et de capacités de gestion automatisée des recettes, permettant une intégration transparente avec les flux de travail de fabrication et minimisant l'intervention de l'opérateur. Le four comprend également des mécanismes de sécurité complets et des systèmes de surveillance de l'équipement pour assurer la fiabilité opérationnelle et la sécurité du personnel en tout temps. L'un des points forts de l'outil TEL Alpha 8SEi est sa reproductibilité de processus exceptionnelle et ses capacités d'optimisation des rendements. L'actif est conçu pour minimiser les variations de wafer-to-wafer et les écarts de processus, assurant des performances uniformes de l'appareil et des rendements de fabrication élevés. Le logiciel de four est équipé d'outils avancés de modélisation et d'optimisation des processus pour peaufiner les paramètres de processus et obtenir des performances optimales pour les exigences spécifiques des appareils. Le modèle TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi est également conçu en tenant compte de l'évolutivité et de la polyvalence, ce qui permet une intégration sans faille dans les installations de fabrication de semi-conducteurs et les flux de processus existants. L'équipement peut être facilement personnalisé et mis à niveau pour tenir compte de l'évolution des exigences de processus et des nœuds technologiques, assurant des performances à long terme et une protection des investissements pour les fabricants de semi-conducteurs. Globalement, le four de diffusion Alpha 8SEi est une solution de pointe pour des procédés de dopage et de recuit précis dans la fabrication de semi-conducteurs. Grâce à sa technologie de pointe, à ses performances supérieures et à son fonctionnement fiable, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi offre aux fabricants de semi-conducteurs un avantage concurrentiel en matière de performance des appareils, d'optimisation des rendements et d'efficacité des procédés dans un environnement industriel en évolution rapide.
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