Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi #293819426 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi
ID: 293819426
Style Vintage: 2024
FTP-SiN furnace 2024 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi est un équipement avancé de four à diffusion conçu pour le traitement précis et uniforme des plaquettes semi-conductrices dans des environnements de production à haut volume. Cet équipement de pointe intègre une technologie de pointe et des caractéristiques innovantes pour offrir des performances et une fiabilité exceptionnelles dans la fabrication de circuits intégrés. TEL Alpha 8SEi est équipé d'une variété de composants et d'accessoires sophistiqués qui permettent un contrôle de processus supérieur et la flexibilité. Le système dispose d'un tube de procédé en quartz de haute capacité avec une conception verticale, permettant un flux de gaz efficace et le transfert de chaleur pendant le traitement thermique. Cette conception garantit une répartition uniforme de la température et d'excellentes caractéristiques de diffusion des dopants sur la surface de la plaquette, ce qui permet d'obtenir des performances et un rendement constants. Le four est conçu pour accueillir des plaquettes jusqu'à une taille de 300mm, ce qui le rend adapté à la production de dispositifs semi-conducteurs avancés avec des caractéristiques plus petites et des densités plus élevées. L'unité est capable de fonctionner à des températures allant de l'ambiante à 1200 ° C, fournissant une large fenêtre de processus pour diverses applications de diffusion et de recuit. Le contrôle précis de la température et les taux de rampe de TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi garantissent des résultats précis et reproductibles, répondant aux exigences strictes de la fabrication moderne de semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés d'Alpha 8SEi est sa machine à gaz avancée, qui permet un contrôle précis du dopant et des gaz de procédé pendant le processus de diffusion. L'outil est équipé de régulateurs de débit massique et de conduites de gaz qui peuvent fournir une large gamme de dopants et de gaz porteurs avec une grande précision et stabilité. Cette capacité est essentielle pour atteindre les propriétés électriques et les profils de dopage souhaités dans les dispositifs semi-conducteurs, optimisant les performances et la fiabilité des dispositifs. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi intègre également un actif de refroidissement innovant qui assure un refroidissement rapide des plaquettes après les étapes de processus à haute température. Le modèle utilise une combinaison de mécanismes de trempe des gaz et de refroidissement interne pour obtenir un refroidissement rapide et uniforme des plaquettes, minimisant les contraintes thermiques et améliorant la qualité des dispositifs. Cette caractéristique est particulièrement importante pour éviter les défauts cristallins et améliorer le rendement global des dispositifs semi-conducteurs. En plus de ses capacités de traitement avancées, TEL Alpha 8SEi est équipé d'une interface conviviale et d'un équipement de contrôle logiciel intégré qui facilitent le fonctionnement et la surveillance du four. Le système fournit une rétroaction en temps réel sur les paramètres du processus, les profils de température et les débits de gaz, permettant aux opérateurs d'optimiser les conditions du processus et de résoudre efficacement les problèmes. L'interface graphique intuitive permet une programmation facile des recettes de processus et une intégration transparente avec d'autres équipements de la ligne de production des semi-conducteurs. Dans l'ensemble, le four de diffusion TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi représente une solution de pointe pour la fabrication de semi-conducteurs à haut volume, offrant des performances, une fiabilité et une flexibilité supérieures pour des applications avancées de diffusion et de recuit. Ses caractéristiques avancées et sa conception innovante en font un outil indispensable pour la production de dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération avec des performances et des fonctionnalités améliorées.
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