Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi #293824604 à vendre en France
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ID: 293824604
Taille de la plaquette: 6"
FTP-SiN Furnace, 6"
Process: pyrogenic oxidation.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi est un four de diffusion de pointe conçu pour le contrôle précis des processus thermiques dans la fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement de pointe représente un progrès important dans la technologie des fours de diffusion, en incorporant de nombreuses caractéristiques innovantes qui améliorent la performance, la fiabilité et l'efficacité. Au cœur de TEL Alpha 8SEi se trouve sa chambre de traitement à haute température, conçue pour assurer une répartition uniforme de la température sur la surface de la plaquette. Cela garantit des conditions de traitement cohérentes et favorise la formation de couches minces et de profils dopants de haute qualité. La chambre est construite à partir de matériaux à quartz de haute pureté pour minimiser la contamination et maintenir un environnement de traitement propre. L'un des points forts de TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi est sa polyvalence, qui permet de réaliser avec une précision exceptionnelle une large gamme de procédés de diffusion, de recuit et d'oxydation dopants. Le système supporte diverses sources de dopants, y compris des sources solides, des sources liquides et des précurseurs gazeux, permettant le dépôt d'une variété de matériaux dopants sur la surface de la plaquette. En plus de ses capacités de processus polyvalentes, Alpha 8SEi est équipé de systèmes de régulation de température avancés qui garantissent des profils thermiques précis et stables pendant le traitement. L'unité dispose de multiples zones de chauffage et capteurs thermiques qui permettent la surveillance en temps réel et le réglage des gradients de température sur la plaquette, ce qui permet des conditions de traitement optimales et un dépôt de film uniforme. TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi offre également des fonctions d'automatisation et de contrôle de processus améliorées qui rationalisent le fonctionnement et améliorent le débit. La machine est équipée d'une interface conviviale qui permet aux opérateurs de programmer et de surveiller facilement les recettes de processus, de définir les paramètres de processus et de suivre les performances des outils en temps réel. De plus, l'actif peut être intégré à des systèmes d'exécution manufacturière (MES) à l'échelle de l'entreprise pour une gestion des données et un contrôle des processus sans faille. Un autre aspect clé de TEL Alpha 8SEi est sa conception et sa construction robustes, qui garantissent une fiabilité à long terme et un temps d'arrêt minimal. Le modèle est conçu avec des composants et des matériaux de haute qualité qui sont résistants à la corrosion, aux contraintes thermiques et à l'usure mécanique, lui permettant de résister aux rigueurs des environnements de production à haut volume. En termes de sécurité et de durabilité environnementale, TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi est équipé de dispositifs de sécurité complets et de systèmes de contrôle des émissions qui atténuent les risques associés aux gaz et produits chimiques dangereux. L'équipement est conçu pour se conformer à des normes et réglementations industrielles strictes en matière de sécurité des travailleurs et de protection de l'environnement. Dans l'ensemble, Alpha 8SEi établit une nouvelle norme pour la technologie des fours de diffusion avec sa conception de pointe, ses capacités de processus polyvalentes, ses fonctionnalités d'automatisation avancées et sa construction robuste. Ce système est idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir un traitement haute performance et haute fiabilité des matériaux avancés pour les appareils de nouvelle génération.
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