Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi #293830601 à vendre en France
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ID: 293830601
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2019
Furnace, 6"
Process: Poly
SECS/GEM
(5) Zones
CE Mark certified
System controller: WAVES
Temperature range: 500-1000°C
Temperature controller: 560-A
Front surface finish: White
O-Ring tube seal
Signal lamp tower
Gas leak detection
Wafer type: FLAT
Wafer handler type: 5 Fork
Fork material: Alumina
Stocker: 21 Carrier
Load size: 170
Transfer stage wafer position sensor
Fork wafer position sensor
MFC type: Horiba STEC
Pressure display units: MPA
Control pressure sensor: MKS 623B
Main valve heated lines
TORR and MPA Pressure display units
CKD-VEC-R Main valve
Cooling water connection: Bottom
Incoming gas connection: Top
Vacuum foreline: Bottom
Furnace exhaust connection: Top
Vent exhaust connection: Top
Gas unit exhaust connection: Top
Pressure relief drain: Bottom
Cabinet exhaust display units: TORR
Internal UPS
FUJI M-UPS GX100
Gas / MFC Model / Line / MFC Size
N2 / Aera / ¼” / 20 L
N2 / Aera / ¼” / 5 L x 5
SiH4 / Aera / ¼” / 500cc x 2
H2 / Aera / ¼” / 200cc x 3
0.5% BCl3/H2 / Aera / ¼” / 100cc x 3
Power supply: 120 V, 1Phase + 480 V, 3Phase
2019 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi est un équipement de fours à diffusion de pointe conçu pour la production en grand volume de dispositifs semi-conducteurs. C'est un outil très avancé et polyvalent qui offre un contrôle précis du processus de diffusion, ce qui donne des performances et un rendement supérieurs. TEL Alpha 8SEi est équipé d'une technologie de pointe et de fonctionnalités innovantes qui en font un choix privilégié pour les principaux fabricants de semi-conducteurs dans le monde entier. Une des caractéristiques clés de TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi est sa conception unique de four horizontal, qui permet une diffusion efficace et uniforme des matériaux dopants sur la surface des plaquettes de silicium. Cette conception minimise les défauts et assure des caractéristiques cohérentes de l'appareil sur l'ensemble de la plaquette, conduisant à des rendements améliorés et des performances globales de l'appareil. La configuration horizontale permet également un chargement et un déchargement faciles des plaquettes, réduisant les temps d'arrêt et augmentant la productivité. Alpha 8SEi est capable de manipuler un large éventail de gaz de procédé et de matériaux dopants, ce qui le rend adapté à une variété d'applications de diffusion. Il offre un contrôle précis de la température jusqu'à 1200 ° C, permettant la personnalisation des profils de diffusion pour répondre aux exigences spécifiques des appareils. Le système est équipé de mécanismes avancés de contrôle du débit de gaz et de capacités de surveillance des processus pour garantir des résultats de diffusion fiables et reproductibles. En plus de son four de diffusion primaire, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi est livré avec une gamme d'accessoires et d'options qui améliorent ses performances et sa polyvalence. Ces accessoires comprennent une unité de manutention de gaz dédiée, une interface de commande informatisée et des mécanismes avancés de manutention des plaquettes. La machine peut être intégrée à une gamme de solutions d'automatisation, telles que des systèmes de transfert de plaquettes robotiques et des logiciels avancés de contrôle des processus, afin de rationaliser davantage les flux de production et d'améliorer l'efficacité globale. TEL Alpha 8SEi est conçu avec un accent sur la sécurité et la fiabilité, avec des dispositifs de sécurité avancés, des mécanismes de protection contre les températures excessives et des outils de diagnostic complets. L'outil est construit selon des normes de qualité rigoureuses et fait l'objet de tests rigoureux pour garantir sa durabilité et sa fiabilité à long terme dans un environnement de production à haut volume. TEL fournit une formation complète et des services de soutien pour aider les clients à maximiser la performance et l'efficacité de TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi actif. Dans l'ensemble, le modèle de four à diffusion Alpha 8SEi est un outil de pointe qui offre une précision, une fiabilité et une polyvalence inégalées pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec son design innovant, ses caractéristiques avancées et ses services d'assistance complets, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi est un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des rendements élevés, des performances de dispositifs supérieures et une excellence opérationnelle dans leurs processus de production.
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