Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula 2L1B #9309492 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula 2L1B est un four à diffusion horizontale à deux étages et des accessoires d'accompagnement spécialement conçus pour répondre aux exigences des applications de procédé à base de lithographie. Cet équipement offre une homogénéité de température supérieure, un débit élevé et une précision rigoureuse. Le 2L1B dispose de deux chambres de four distinctes : la chambre de procédé et une chambre RTP. La chambre de traitement abrite la plaquette de produit et est chauffée par des tubes à plaques hautes et chaudes qui induisent une uniformité de température optimale sur l'ensemble de la plaquette. La température de la plaque chaude est régulée indépendamment, permettant un contrôle précis de la température pour chaque plaquette. La chambre RTP est conçue pour un traitement thermique rapide, permettant des temps de traitement plus courts et un débit plus élevé. L'accessoire du 2L1B comprend une soufflante de refroidissement, un conduit d'échappement, un conduit de dilution et un panneau de sécurité entre autres. La soufflante de refroidissement aide à refroidir efficacement la plaquette de produit après traitement et le conduit d'échappement épuise efficacement les gaz d'échappement de la chambre de procédé. Le conduit de dilution aide à réguler et ajuster la température du tube dans les deux chambres. Le panneau de sécurité dispose d'un système de verrouillage qui garantit un environnement de processus sûr. Le 2L1B dispose également de systèmes avancés de contrôle de la température et de l'eau pour améliorer la qualité des procédés. Le système de contrôle de la température surveille et maintient les températures régulées pour chaque chambre du four, assurant une grande uniformité des processus. Le système de contrôle de l'eau améliore l'homogénéité de la température et offre une excellente précision et stabilité de la température, d'où une qualité supérieure des plaquettes. Dans l'ensemble, TEL Formula 2L1B est un excellent choix pour les applications de procédé basées sur la lithographie. Sa conception de four horizontal en deux étapes et son emballage accessoire complet garantissent une uniformité de température supérieure, un débit élevé et une précision et une stabilité de température supérieures. Cet équipement est disponible avec une large gamme de fonctionnalités et de mises à niveau optionnelles, ce qui en fait l'un des systèmes de diffusion les plus robustes du marché.
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