Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9090494 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Formula est un graveur/asher qui est utilisé pour graver des plaquettes de semi-conducteurs dans le processus de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un graveur physique à dépôt en phase vapeur (PVD) qui utilise la gravure ionique réactive (RIE) pour éliminer le matériau d'un substrat cible. Il est capable de graver des caractéristiques de haut rapport d'aspect avec une gamme très serrée de profils. Typiquement, il est utilisé pour graver des caractéristiques telles que des tranchées, des vias de contact encastrés et d'autres caractéristiques qui sont utiles dans la réalisation de circuits intégrés MEMS et 3D. TEL Formula etcher utilise une source de plasma à couplage inductif (PIC) pour générer les espèces réactives nécessaires à la gravure. La source ICP fait partie d'un équipement avancé de classe IIC de salle blanche qui est équipé d'un réacteur Triple Gas™ et d'un système de vide haute performance. Cela permet le nettoyage et la gravure des surfaces jusqu'à des niveaux ultra bas d'impuretés sans contamination des surfaces. TOKYO ELECTRON Formula etcher utilise la puissance RF haute fréquence pour générer un plasma uniforme dans la chambre de traitement du plasma. Ce plasma est ensuite utilisé pour maintenir un flux ionique élevé et dirigé vers le substrat. Cela permet des rendements ioniques élevés pour la gravure de caractéristiques même très minces avec des tailles et des rapports d'aspect très faibles. Formula etcher est également équipé de deux sources supplémentaires d'espèces de gravures. Il s'agit notamment des sources du PIC d'argon et d'oxygène. Le PIC d'Argon est utilisé pour graver des trous et des ouvertures de tranchées de moins de 70 µm, ainsi que des trous dans des lignes de bandes symétriques et des couches d'alignement. L'ICP oxygène permet la gravure de structures conformes avec des rapports d'aspect très faibles, en raison de son processus réactif de gravure ionique. En termes de contrôle de processus, TEL/TOKYO ELECTRON Formula etcher offre une gamme d'options. Cela comprend une unité de commande sophistiquée avec un ordinateur embarqué, un enregistreur de données à grande vitesse et une machine de surveillance thermique. Le logiciel comprend une large gamme de recettes de gravure prédéfinies et définies par l'utilisateur pour différentes applications. TEL Formula est un graveur avancé qui est capable de graver des microstructures avec des rapports d'aspect élevés et reproductibles. Ses composants intégrés permettent une gravure très précise d'une vaste gamme d'applications tout en éliminant la contamination des surfaces lors du processus de gravure. Cela en fait un choix idéal pour une large gamme de procédés de fabrication d'appareils.