Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-LVPCKNR #9381856 à vendre en France
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ID: 9381856
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Furnace, 12"
Process: MID-SiN(LT-SiN)
Heater type: Mid-temperature VCM-50-012L
Gases: N2, P-N2, NH3, SiH2CI2, HF, 20% F2/N2
Hard Disk Drive (HDD)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-LVPCKNR est un four de diffusion et des accessoires conçus pour la fabrication de précision de dispositifs microélectroniques. Ce système avancé est conçu avec des films cristallins multicouches, un procédé thermiquement stable et un haut degré de contrôle de la température et du débit permettant la micro-fabrication. Cette unité est adaptée à différents procédés utilisés pour créer de nouveaux matériaux ou structures. TEL INDY-I-LVPCKNR dispose de plusieurs composants dont un creuset pour maintenir le matériau à traiter, un chauffe-eau, un débitmètre, une source de gaz, une machine à vide et un outil d'échappement. Le creuset est fraisé à partir d'un acier inoxydable de haute qualité et a un revêtement en alliage de platine avec un chauffage RF intégré. Le creuset est conçu pour fournir une température extrêmement stable tout au long du processus et permet un contrôle précis de la température et de l'espace pour les processus matériels. Le chauffage RF intégré permet des cycles de chauffage plus rapides qui créent un plus grand débit. Le chauffage est utilisé pour atteindre la température désirée, typiquement entre 850 et 800 Celsius. Le réchauffeur est en alliage à haute température et dispose d'un moyen de refroidissement réglable pour maintenir la température désirée. La source de gaz et le débitmètre permettent l'introduction d'une variété de gaz pour le traitement, selon l'application. Par exemple, le gaz azoté peut être utilisé pour les procédés d'oxydation et de recuit tandis que le gaz formant peut être utilisé forDeposition1ing les matériaux. Le modèle sous vide permet de s'assurer que la chambre et les matériaux restent exempts de contaminants pendant le processus. TOKYO ELECTRON Indy-I-LVPCKNR dispose également de plusieurs fonctions de sécurité, telles qu'un capteur de basse température, un interrupteur de pression pour détecter la surpression dans la chambre, et un indicateur de panne de courant. Ces caractéristiques de sécurité permettent d'assurer la sécurité et la fiabilité de l'équipement pendant son utilisation. Le système d'échappement recueille et dissipe les contaminants, tout en évacuant la chambre pendant le refroidissement. Indy-I-LVPCKNR a été conçu pour une efficacité et une précision maximales. Il permet des cycles de production plus rapides et des rendements plus élevés grâce à la précision des paramètres du processus, qui sont maintenus sous contrôle grâce aux caractéristiques de conception et de sécurité de l'unité. Avec ses films cristallins multicouches, son procédé thermiquement stable et son contrôle précis, cette machine est un excellent choix pour la fabrication de précision de dispositifs microélectroniques.
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