Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381811 à vendre en France
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ID: 9381811
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2012
Furnace, 12"
Process: HFSiOX
Rapid cooling unit
Pump box
VMM-56-201 Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Load lock system
GFC Display
Load port: Side FFU
FIMS Port
Heater type:
VMM-56-201 Low temp
(4) Zones: 150°C~600°C
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Gas:
PN2
N2
Ar
O3
3-DMASi (Liquid)
H2O and TDMAH (Source tank)
Missing Parts:
QUARTZ Wares
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Power supply: 3 Phase, AC 480 V, Single phase, AC 120 V
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI est un four de diffusion et un ensemble d'accessoires. Ce four est conçu pour fournir un traitement avancé des dispositifs semi-conducteurs pour une variété d'applications. TEL Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI est un four à diffusion horizontale à haute température et haute pureté. Le four est capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1 730 degrés Celsius. Il est construit avec une conception à trois zones pour assurer une température uniforme pendant le processus de diffusion. Le four utilise une source indépendante de gaz inerte pour assurer un environnement propre et sûr pour le dispositif pendant le traitement. Les accessoires d'accompagnement sont conçus pour fournir une solution complète de traitement de diffusion. Les accessoires comprennent une source de plasma à résonance cyclotron électronique, un TCA (ensemble de refroidissement thermoélectrique), un autosampeur pour le chargement de plaquettes, un port de chargement avec un équipement automatisé de transfert de plaquettes, et un système à vide élevé. TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI comprend plusieurs fonctionnalités pour maximiser l'efficacité du processus de diffusion. Le four dispose d'une fonctionnalité de réglage automatique pour minimiser le temps d'installation, d'une unité de surveillance pour la surveillance des paramètres du processus et d'une puissante machine d'acquisition de données avec interface utilisateur graphique. Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI est un outil fiable, sûr et facile à utiliser pour un large éventail d'exigences de processus. Ses caractéristiques clés en font un excellent choix pour le traitement avancé des appareils. Le four et les accessoires sont fiables et peu entretenus, et sont conçus pour offrir une longue durée de vie. Ce tube de procédé en silice fondue fournit une isolation thermique supérieure pour assurer des températures constantes et uniformes pendant le processus de diffusion. Ce puissant four de diffusion et ensemble d'accessoires fournit aux utilisateurs une solution complète pour les applications avancées de traitement des dispositifs. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI est conçu pour répondre aux exigences les plus strictes de l'industrie du traitement des dispositifs semi-conducteurs.
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