Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI #9381820 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI
ID: 9381820
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
Furnace, 12" Process: HfSiOx Heater type: VMM-56-201 Low temp (4) Zones: 150°C~600°C Gas: N2 Ar O3 3-DMASi (Liquid) H2O and TDMAH (Source tank) (2) Boat systems KAWASAKI Hard Disk Drive (HDD) 2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-B-MVCKNNRRTXI est un four de diffusion équipé de composants accessoires le rendant très efficace et fiable dans ses tâches de fournir un environnement de traitement thermique de qualité professionnelle. Ce système peut traiter un large éventail de matériaux convenablement classés, y compris des plaquettes pour divers types d'applications électroniques et de circuits intégrés. L'installation comprend une chambre à vide où se déroule le processus, ainsi que des traversées, des capteurs de température, des composants de climatisation et des commandes. L'Indy Plus-B est un four de diffusion vertical capable de fournir une température comprise entre 500 et 1250 ° C et une pression maximale de fonctionnement de 0,5 à 10 torr. Le temps de cycle flash-flash de l'appareil est de 15 secondes et le temps de cycle de pompage est inférieur à une heure. Cela permet un processus d'écoulement continu malgré les changements d'élévation des pressions ou des températures. La chambre a un diamètre de 315mm avec une hauteur de 1100mm, et sa charge maximale en plaquettes est de 6 ". Il est capable de fournir divers types de procédés d'oxydation, de nitridation, de recuit et de diffusion. De plus, l'unité comprend un masque Oxid, une tête de douche et un régulateur de température de dix-huit élévateurs pour l'uniformité des températures de traitement. L'unité dispose également d'un « recuit numérique pulsé » processus d'alternance entre les basses et les hautes températures avec chaque cycle permettant un changement de température plus rapide et un environnement thermique stable. Cette caractéristique est due à l'utilisation d'un élément chauffant externe ainsi qu'à la technologie de chauffage à transfert direct de la chambre de diffusion et à ses capacités de régulation de température uniformes. Dans ce cadre, les périodes de basse et de haute température sont alternées automatiquement, ce qui entraîne des cycles de processus plus rapides que des modèles similaires. L'unité est également équipée d'une panoplie de dispositifs de sécurité. Cela inclut l'interception automatique du fond, l'arrêt sur température et l'arrêt automatique du flux de gaz assurant la sécurité grâce à un certain nombre de paramètres. L'unité contient également une double vanne à vide rotative pour une meilleure efficacité lors du chargement et du déchargement des plaquettes ainsi qu'une chambre en céramique à paroi chaude pour une meilleure durabilité. TEL INDY Plus-B-MVCKNNRRTXI est un four industriel de diffusion hautement efficace et fiable équipé de composants durables, de caractéristiques de sécurité et de capacités de régulation de température adaptables. Il est idéal pour une variété de procédés tels que l'oxydation, la nitridation, le recuit et la diffusion et peut contenir jusqu'à 6 "de plaquettes dans sa chambre. Avec sa conception avancée et un temps de cycle flash à flash de 15 secondes, ce four de diffusion est un excellent choix pour les applications électroniques et de circuits intégrés modernes.
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